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| 儀器類型 | 便攜式 |
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產品簡介
詳細介紹
IN USA系列是Teledyne API的一個品牌，OG-5000系列臭氧發生器設計用于生產超潔凈，高純度和高濃度的臭氧氣體，非常適合各種半導體工藝應用。
水冷式臭氧發生器通過在高強度電場中激發分子氧來產生臭氧氣體，這是通過在兩個電極之間施加交流電壓而建立的。為了獲得高強度的電場，兩個電極表面放置在非常緊密的機械接近位置。當跨越間隙整合的場的強度大于填充間隙的氧的擊穿電壓時，發生放電并產生臭氧。添加ppm級別的“摻雜”或“摻加”氣體（如氮氣）可大限度地提高臭氧輸出量，并確保隨著時間的推移高度穩定地產生臭氧。
OG-5000臭氧發生器系列中的高純度潤濕材料結合了創新的電池設計，*的密封技術和*的控制器，確保生產高純度和高濃度臭氧氣體，以滿足所有苛刻要求在半導體行業的應用。
水冷式臭氧發生器產品特性
◆ 高純度臭氧
◆ 非常高的臭氧濃度
◆ 比其他工藝氣體更環保
◆ 低采購成本
◆ 無耗材
◆ 緊湊和模塊化
◆ 經過驗證的技術
技術規格
◆ 大臭氧產量：OG-5000-A 210g/Hr
OG-5000-B 150g/Hr
◆ 遠程控制： 通過前面板或自動遠程控制
通過SCI控制器遠程關閉或伺服控制
原料氣
◆ 氧氣等級：6個9或更高，
◆ 氮級：5個9或更高（僅0.5％）
◆ 進料氣體流速：0.5-20slpm
運行條件
◆ 臭氧出口壓力：15至40 psig（通常設定為30 psig）
◆ 工作環境溫度：5-35攝氏度
◆ 冷卻水溫度：18攝氏度+- 3攝氏度（不要低于當地露點)
◆ 冷卻水流量：1 to 1.2 gpm at 60 psig
◆ 冷卻水質量：任何晶圓廠級別(去離子水)
◆ 電源（VAC）：208/240 VAC單相或三相
◆ 頻率：50或60Hz
◆ 電流：15 amps Breaker 10 Amps RMS
物理規格
◆ 尺寸（寬x高x深）：19“x 10.5”18“（48厘米x27厘米x45厘米）
◆ 重量：82磅 （27公斤）
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