Veeco K465i設備耐高溫濾芯/Veeco K465i設備濾芯

　　產品說明：

　　該產品系我司針對Veeco K465i設備設計生產的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒； 2只/組（粗濾、細濾）

　　組成材料：

　　1、濾材： 耐高溫玻纖濾料

　　2、支撐材料：雙面304#不銹鋼金屬網

　　3、骨架：304#不銹鋼菱形網

　　4、密封墊圈：硅發(fā)泡橡膠墊片

　　5、密封膠：硅橡膠

　　規(guī)格：

　　1、端蓋：φ360*φ225， 304# 不銹鋼

　　2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5

　　3、折數：一級（100μm） :118 折 , 折高 65mm; 二級（ 25μm ） :88 折，折高 65mm

　　過濾效率：

　　1、粗濾：100μm=90%

　　2、細濾：25μm=99.95%

　　3、透氣量：1000L/Sec/㎡

　　產品特性：

　　1、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質、有效去除不同大小的顆粒雜質。

　　2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。

　　3、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。

　　4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設備。

　　MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質量半導體薄膜材料的 技術，在LED 、半導體激光器、太陽能電池等多個領域都有應用。現有MOCVD 設備 的成本非常高，且依賴進口，進行MOCVD 設備研究對國內半導體產業(yè)、新能源 領域以及 技術的發(fā)展都很有必要。

　　MOCVD 設備可以分為核心的腔體反應室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以 及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設計，包括結構組成和部分控制難 點，并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。

　　氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內的所有氣體輸送至腔體參與反應， 并把反應后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng)， 反應室內多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內管路很復雜，而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經的關鍵管路持續(xù)吹掃。基于 考慮，設備需 要定期進行泄漏檢查。

　　由于MOCVD 系統(tǒng)中所采用的大多數源均易燃易爆，雨其中的 化物源又，因此，必須對反應過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒

芯