滿足電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備和非導體材料實驗電極制作。

特點：

增加了熱蒸發附件，可以蒸發碳絲，具有濺射和蒸發兩種功能。因此擴展了應用范圍，特別適用于掃描電鏡實驗室樣品制備。

配置參數：

- 儀器尺寸 ： 400mm×300mm×400mm（L×W×H）

- 真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）

- 靶（上部電極）： 50mm×0.1mm（D×H）

- 樣品臺： 50mm (D)

- 操作真空： 4×10-1mbar至2×10-2mbar

- 工作電壓： 0-1600V (DC)可調

- 濺射電流： 0-50mA

- 濺射定時： 1-9999S

- 蒸碳電流 0-10A(AC)

- 真空泵： 4升兩級機械旋轉泵（極限真空2×10-2mbar）