·6、9、12 mm 直徑的四極桿可選

·±100 eV離子能量分布，1000 eV可選

·離子源控制，以實現軟離子化及表觀電勢質譜

·脈沖離子計數器，連續7個數量級動態范圍，Faraday 選項為5x10¹⁰

·一級過濾處增加射頻，增強抗污染物能力

·信號選通分辨率0.1μs，用于能量、質量分布隨時間變化或TOF研究中

·程序升溫脫附時，溫度數值同步顯示

·標配UHV罩，液氮冷卻罩可選 

 ·MASsoft專業軟件控制

·可升級至Plasma/ SIMS 配置

·質量數范圍：      1～300  amu（標準配置）

                           500、1000、2500 amu（選配）

·測量速度：         500 points/s

·分辨率：            0.1% Valley、1% Valley

·動態范圍：         10⁷

·檢測分壓：   5 X 10^-15 mbar ，1X10^-16 mbar

·離子能量：         ±100eV（標準配置）

                           ±1000eV（選配）

·信號選通分辨率：0.1µs

·穩定性：            24h以上，峰高變化小于±0.5%

3F Series Mass Spectrometers (0.68MB)

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)