設(shè)計(jì)新穎
新的圓柱形設(shè)計(jì)，可使儀器檢測(cè)更大的工件。

速度快，振動(dòng)小
在驅(qū)動(dòng)器上采用線(xiàn)性馬達(dá)技術(shù)，使得測(cè)量的速度快，振動(dòng)小。高速測(cè)量(200mm/s)，實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率。

測(cè)量范圍（mm）
Z軸（縱向）13mm/50mm測(cè)臂、臂26mm/100mm測(cè)臂
X軸（橫向）200mm

精度
Z軸指示精度（縱向）±(0.2+2| H |/100) mm(±0.206μm/ H±6mm)
測(cè)量分辨率0.31nm/50mm測(cè)臂
X軸指示精度（橫向）±0.2+L/1000μM(±0.4μm/L200mm)
測(cè)量分辨率0.54nm
直線(xiàn)度精度0.05+3L/10000μm(0.11μm/L200mm)

測(cè)量方式
Z軸（縱向）高穩(wěn)定倍光路型激光干涉計(jì)
X軸（橫向）反光分析光尺

粗糙度處理功能
1、參數(shù)或計(jì)算類(lèi)型
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO
標(biāo)準(zhǔn)Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt.Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,Rlq,TILTA.Ir.Pc.Rsk.Rku.
Rk.Rpk.Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREANCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,
SR,SAR
2、評(píng)價(jià)曲線(xiàn)
剖面曲線(xiàn)、粗糙度曲線(xiàn)、濾波紋度曲線(xiàn)、濾波中心線(xiàn)波紋度曲線(xiàn)、滾動(dòng)圓波紋度曲線(xiàn)、滾動(dòng)圓中心線(xiàn)波紋度曲線(xiàn)aKIN4776特殊曲線(xiàn)、粗糙度中心曲線(xiàn)(Motif)波紋度中心曲線(xiàn)(Motif)、包絡(luò)波紋度曲線(xiàn)表面特性圖表負(fù)荷曲線(xiàn)、功率譜曲線(xiàn)圖、振幅分曲線(xiàn)
3、傾斜補(bǔ)償
直線(xiàn)補(bǔ)償、R面補(bǔ)償、前半補(bǔ)償、后半補(bǔ)償、兩端補(bǔ)償、花鍵曲線(xiàn)補(bǔ)償（直線(xiàn)、R面、兩端補(bǔ)償可以在任意范圍內(nèi)）
CUTOFF值0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm（9級(jí)）任意（0.001-50mm）縱倍率 50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 橫倍率0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍

輪廓度處理功能
1、參數(shù)或計(jì)算類(lèi)型
點(diǎn)、直線(xiàn)、部分圓、橢圓、最在點(diǎn)、最小點(diǎn)、距離、坐標(biāo)著、極坐標(biāo)差、直交/極坐標(biāo)差顯示、交叉要素（點(diǎn)-直線(xiàn)、直線(xiàn)-下線(xiàn)、圓-直線(xiàn)、圓-圓、圓-橢圓）、對(duì)稱(chēng)要素（點(diǎn)-點(diǎn)、點(diǎn)-圓、點(diǎn)-橢圓、直線(xiàn)-直線(xiàn)、圓-圓、圓-橢圓、橢圓¬-橢圓）、面積計(jì)算、Overpin計(jì)算、尺寸線(xiàn)顯示功能、計(jì)算結(jié)果與設(shè)計(jì)值比對(duì)、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動(dòng)要素判定、計(jì)算點(diǎn)的重復(fù)功能、工件軌跡功能、峰值谷值搜尋功能、自動(dòng)操作記錄.回放功能、形狀設(shè)計(jì)值比對(duì)、似合功能、設(shè)計(jì)值生成、
2、IGES/DXF轉(zhuǎn)換
基準(zhǔn)設(shè)定原點(diǎn)設(shè)定、X軸設(shè)定、平行移動(dòng)、回轉(zhuǎn)移動(dòng)
最小測(cè)量間距0.0005~1mm
測(cè)量點(diǎn)數(shù)150,000點(diǎn)
縱倍率0．01～10,000,000倍（任意、自動(dòng)）
橫倍率0．01～10,000,000倍（任意、自動(dòng)）
3、驅(qū)動(dòng)速度
上下移動(dòng)速度（Z軸）0~200mm/s
測(cè)量速度（X軸）0.03~3mm/s（粗糙度測(cè)量時(shí)）0.02~20mm/s（輪廓度測(cè)量時(shí)）
移動(dòng)速度（X軸）0.02~60mm/s
上下驅(qū)動(dòng)范圍500mm
驅(qū)動(dòng)部交換式、0.75mN、2mmR半徑、金剛石