ICP-5000型全自動電感耦合等離子體刻蝕機

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌其他品牌

廠商性質生產商

所在地武漢市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：左斌斌查看聯系方式

更新時間：2020-11-16 22:13:16瀏覽次數：641次

聯系我時，請告知來自環保在線

產品分類 品牌分類

  半導體測試儀器解決方案

半導體前道儀器設備

半導體后道儀器設備

半導體檢測儀器設備

全部產品列表

  其他品牌

武漢賽斯特精密儀器有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：1668條

所在地區：湖北武漢市

聯系人：左斌斌（銷售經理）

詢價 給他留言

產品簡介

加工定制	是

本設備為兩室真空系統。其中一室為進樣取樣室，另一室為刻蝕室。進樣取樣室與刻蝕室之間裝有真空鎖，進樣取樣采用機械手運送。
本設備主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、控制系統，冷卻系統、送取片機構、報警系統等組成。
ICP-5000型全自動電感耦合等離子體刻蝕機

詳細介紹

一．系統概述

▲總述

本設備為兩室真空系統。其中一室為進樣取樣室，另一室為刻蝕室。進樣取樣室與刻蝕室之間裝有真空鎖，進樣取樣采用機械手運送。

本設備主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、控制系統，冷卻系統、送取片機構、報警系統等組成。

▲真空系統

本系統由一個抽速600升/秒分子泵+抽速9升/秒真空泵組成抽氣系統, 將刻蝕室抽至高真空, 分子泵與刻蝕室之間裝有壓力調節閥電插板閥, 機械泵為刻蝕室予抽泵及分子泵前級泵。用另一個抽速9升/秒機械泵將進取樣室抽至真空狀態。機械泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼波紋管連接, 并裝有電磁氣動隔斷閥。

▲恒壓控制系統

本設備配有下游恒壓控制系統，在抽氣管路裝有一電動可調節閥，通過薄膜規測量（進口件），可調節閥控制，使真空室達到恒壓,從而提高工藝穩定性。

▲射頻電源系統

采用射頻電源兩套，帶自動動匹配。

▲氣路系統

由4個質量流量控制器控制4路氣體進氣。氣體管路均采用1/4英寸不銹鋼硬管，管路接頭連接形式采用雙卡套連接。質量流量控制器采用*,氣路閥門、管路等采用進口件。

▲控制系統

采用工控機及PLC控制，通過觸摸屏設置參數及顯示測量值、狀態等，實現真空系統及工藝過程自動化。本機可選擇全自動及非全自動模式。

▲報警系統：設備所需安全要求。

二. 主要技術指標

1. 極限真空: 刻蝕室9.0×10^-5Pa (室內濕度≤55%)

進樣取樣室6.0×10^-1Pa