晶圓薄膜應力測試儀

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更新時間：2021-03-22 15:09:36瀏覽次數：754次

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：1668條

所在地區：湖北武漢市

聯系人：左斌斌（銷售經理）

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產品簡介

加工定制	是

晶圓薄膜應力測試儀樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；

詳細介紹

晶圓薄膜應力測試儀

主要特點：

l 快速、非接觸式測量；

l 樣品臺可通用于3至8寸晶圓，128L型號適用于12寸晶圓，128G 型號適用于470 X 370mm樣品，另可按要求訂做；

l 利雙激光自動轉換技術：如某一波長激光在樣本反射度不足，系統會自動使用另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用；

l 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄（可選)；

l 可加入更多功能滿足研發的需求：電介質厚度測量，光致發光激振光譜分析（III-V族的缺陷研究）；

l 500 及 900°C高溫型號可選；

l 樣品上有圖案亦適用；

l 薄膜應力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa。

晶圓薄膜應力測試儀

室溫系統

FSM 128

大樣品直徑200mm

FSM 128L

大樣品直徑300mm

FSM 128G

大樣品550×650mm

變溫系

FSM 500TC

電阻加熱工作臺：溫度可控，高500℃

FSM 900TC-vac

RTP型腔室：溫度可控，高900℃（可選1100℃）；真空達到 1E-6 Torr

武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業研發，以力學試驗機儀器為主，同時銷售各種、中低端分析儀器。現有員工60多人，公司成功開發了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件，并采用全數字化，操作簡捷，*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業標準的要求，公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證，榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。

關鍵詞：應力測試儀工作臺試驗機