電子超純水設備
電子行業超純水系統是利用現在*的電子技術進行提煉純水系統,它根據原水的水質情況,對原水進行脫鹽處理,由于電子行業對于水中的離子含量要求非常高,所以我們公司的超純水系統也是選擇*的反滲透技術,搭配業內的EDI設備,混床技術,使得最終的產生水質可達到18.25MΩ•cm,水質可符合國內外用水標準。
目前國內工業部門將電子級用水水質分為五大標準,分別為18MΩ•cm,15MΩ•cm,10MΩ•cm,2MΩ•cm和0.5MΩ•cm,以區分使用要求的用水水質情況。
工藝流程:
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)
預處理-一級反滲透-加藥泵(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)
適用領域:
生產半導體、光伏太陽能、集成電路芯片、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子元器件、半導體材料、器件、印刷電路板、集成電路成品、半成品用超純水等電子工業用超純水系統。
工藝設計方案介紹:
1、級預處理系統:采用石英砂多介質過濾器,主要目的是去除源水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等顆粒在20m以上對人體有害的物質,系統可以自動(手動)進行反沖洗,正沖洗等一系列操作。
2、第二級預處理系統:采用果殼活性碳過濾器,目的是為了去除水中的色素、異味、生化有機物、降低水的余氯值及農藥污染和其他對人體有害的污染物。系統可以自動(手動)進行反沖洗,正沖洗等一系列操作。
3、第三級預處理系統:采用陽樹脂對水進行軟化,主要是降低水的硬度,去除水中的鈣、鎂離子(形成水垢的主要成分),可有效延長反滲透膜的使用壽命,并可進行智能化樹脂再生。
4、第四級預處理系統:采用5um孔徑精密過濾器,使水得到進一步的凈化,使水的濁度和色度達到優化。保證RO系統進水條件要求,保證設備的產水質量,延長設備的使用壽命。
5、紫外線消毒:借助于短波(180nm-254 nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機化合物,如甲醇、乙醇等,使其轉變成CO2和水,以降低TOC的指標。
6、離子交換:已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級混合床獲得超純水也并不困難。但水的TOC指標主要來自樹脂床。因此高質量的離子交換樹脂就成為成功的關鍵。所謂高質量的樹脂,就是化學穩定性特別好,不分解,不含低聚物、單體和添加劑等的樹脂。
7、EDI設備:通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用,在電場的作用下實現水中離子的定向遷移,從而達到水的深度凈化除鹽,并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生,因此EDI制水過程不需酸、堿化學藥品再生即可連續制取高品質超純水。