光氧廢氣處理設備在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。等離子法目前應用較多，但是對設計安裝有一定要求，也是目前比較好的有機廢氣處理方法  采用低溫等離子體高壓放電，電場吸附有害毒體在吸煙板上，在疊加脈沖作用下打開分子鍵、激活自由基、釋放臭氧，通過化學反映，自由結合，產生二氧化碳和水，對人體無害的同時，還在設備前后設置了各種過濾材料，針對不同廢氣的裝置，確保**的凈化效果。
 光氧廢氣處理設備

活性炭吸附是利用活性炭的多孔性，存在吸引力的原理而開發的。由于固體表面上存在著未平衡飽和的分子力或化學鍵力，因此當此固體表面與氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其濃集并保持在固體表面，這種現象就是吸附現象。本工藝所采用的活性炭吸附法就是利用固體表面的這種性質，當廢氣與大表面的多孔性活性炭相接觸，廢氣中的污染物被吸附在活性炭固體表面，從而與氣體混合物分離，達到凈化的目的。該法凈化效率可達95％以上，以往工程實例數據：噴漆車間空氣中二甲苯濃度可從240～960mg/m3降至10.7～20.9mg/m3，低于國家衛生標準，大大改善了工人的操作環境。

由于酸堿廢氣具含有大量易溶于水的HCl酸性氣體，吸收法采用低揮發或不揮發性溶劑對廢氣中的有害成分進行吸收，再利用廢氣有害成分與吸收劑物理性質的差異進行分離的方法。吸收法分為物理吸收及化學吸收，又包括酸吸收法、堿吸收法、氧化還原吸收法等。遵照技術成熟，安全運行可靠的原則，建成除酸堿中和一體化濕法裝置。即洗滌廢氣&mda在含酸堿性的洗滌液中將酸堿霧中和。