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VFT光纖過真空裝置可以將光導入或導出真空室,以實現超高真空的應用場合,例如半導體處理的光學監測和薄膜吸附的*終檢測。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測真空環境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學反應!
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VFT真空光纖饋通法蘭半導體光學監測
在隔空箱和高壓應用場合下有較好的表現,真空度高達*大10 -7 mbar ,操作溫度高達300℃,真空室壁厚5-40mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現提高,VFT光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,使VFT在超高真空應用場合的表現得到提高。
VFT光纖過真空裝置除了在半導體和薄膜處理方面的應用,還是環境檢測、藥﹡學處理和光學涂層生產的理想工具。它還可以應用在分子束外延和化學物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優異的通管。 VFT真空光纖饋通法蘭半導體光學監測
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VFT光纖過真空裝置的高壓與低壓面的終端可與SMA905連接器相連接,可以簡單地與光纖、光源、配件共同使用,以及本公司的光譜儀等光學設備。
VFT光纖過真空裝置可以旋入真空樣品室上的一個M12外螺紋的孔,或可以用預備好的螺帽和墊圈旋入一個光滑的孔。裝配過程非常簡單,只需通過一個SMA905光纖適配器把光纖和VFT通管連接起來即可。在樣品室的低壓面,我們建議用戶選配金屬硬殼的石英光纖配套。
VFT光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。
訂購選型
型號 | 說明 |
VFT-100-VIS | 直徑100 μm的可見光-近紅外石英光纖(300-1100nm) |
VFT-100-IR | 直徑100 μm的可見光-近紅外石英光纖(400-2500nm) |
VFT-200-UV | 直徑200 μm的紫外石英光纖(200-1100nm) |
VFT-200-IR | 直徑200 μm的可見光-近紅外石英光纖(400-2500nm) |
VFT-400-UV | 直徑400 μm的紫外石英光纖(200-1100nm) |
VFT-400-IR | 直徑400 μm的可見光-近紅外石英光纖(400-2500nm) |
VFT-600-UV | 直徑600 μm的紫外石英光纖(200-1100nm) |
VFT-600-IR | 直徑600 μm的可見光-近紅外石英光纖(400-2500nm) |
VFT-1000-UV | 直徑1000 μm的紫外石英光纖(200-1100nm) |
VFT-1000-IR | 直徑1000 μm的可見光-近紅外石英光纖(400-2500nm) |
選件 | |
使用溫度范圍 | -30°~+120°(HT高溫可達到300°) |
SMA適配器 | SMA905適配器,每個過真空裝置需要配2只 |
選配配件
VFT光纖過真空裝置可以定制配套的真空法蘭盤,如KF16、KF25、KF40等。
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