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凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司
原子力顯微鏡*多可以同時進行四探針測試,光纖探針各自獨立控制,可以同時分別、獨立進行如滴液、加壓,電學,熱學方面的測試等不同的工作。
原子力掃描表征
-接觸模式(可選)
-探針或者樣品掃描都具有所有原子力顯微鏡的操作模式。
近場光學成像和激發表征
-透射,反射,收集,激發模式
界面差別對比表征
-反射和透射模式
折射系數分析表征
-反射和透射模式
熱導和阻值擴散分析表征
-接觸AC模式
-無反饋激光通過外部媒介導入半導體,使用音叉反饋
在線遠場共聚焦拉曼和熒光光譜成像
-反射和透射模式
-針尖增強拉曼散射和在超薄層面上做選擇性拉曼散射,例如應變硅
納米刻蝕
-納米“筆”探針輸送多種化學物質和氣體
-近場光學刻蝕和常規方式的納米刻蝕技術比如電子氧化等,并且可-以同時使用另外一根探針做在線同步分析
納米壓痕
-使用兆級帕斯卡壓強,通過另外一個附加探針的在線同步分析將力學探針**定位和控制。
++++++SPM 掃描頭參數
樣品掃描器
-壓電掃描平臺 (3D 掃描臺™)
-高度7毫米
探針掃描器
-四個獨立控制的壓電掃描平臺(3D 掃描臺™)模塊
-高度7毫米
掃描范圍
-每根單探針掃描范圍30 微米 (XYZ方向)
-僅樣品掃描器掃描范圍100微米(XYZ方向)
-樣品掃描器和單探針掃描器掃描范圍130微米 (XYZ方向)
-樣品掃描器和雙探針掃描器掃描范圍160微米(XY方向)
掃描分辨率
- < 0.05 納米 (Z方向)
-< 0.15納米(XY方向)
-< 0.02納米(XY方向) 低電壓模式
粗定位
-樣品粗調定位: XY 馬達驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-針尖粗調定位:
-XY方向馬達驅動-驅動范圍5mm-分辨率0.25微米
-Z方向馬達驅動-驅動范圍10mm-分辨率0.065微米
反饋機制
-音叉反饋(標準)
-激光反射反饋(可選)
常規樣品尺寸
-標準尺寸可達到16毫米
-使用上置光學顯微鏡操可達到34毫米
-不使用樣品掃描方式可以達到55毫米
-有些客戶樣品尺寸達到200mm也能掃描
-非常規尺寸樣品:例如橫截面高低起伏較大的樣品等一些特殊形狀樣品
探針
-*的玻璃探針,針尖可以提供不同的形貌和參雜金屬顆粒或者涂層
各種形式的常規硅懸臂探針也可以使用
++++++成像分辨率
遠場成像分辨率
-到達衍射限制
光學成像分辨率
-非共聚焦下光學分辨率500納米左右
共聚焦成像分辨率
-200納米
近場光學成像分辨率
-安裝時保證100納米分辨率;50納米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 納米(RMS)
-XY 橫向分辨率:根據樣品和針尖直徑情況
熱學成像分辨率
-*少100納米
阻值成像分辨率
-*少25納米
++++++熱學&阻值成像
溫度參數
-300度或者更高,要考慮樣品情況
熱學參數
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中
-熱敏感度0.01 ?C
-測量阻值改變速率為0.38 Ω/?C
阻值特點
-*的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中并且可以做出不同的形狀結構和涂層
-超高電勢分辨率
-接觸電阻極微小
-電學穩定& 抗氧化
++++++在線光學和電子/離子光學掃描同步完成
可以完成的表征類別
-遠場光學,共聚焦光學,近場,微區拉曼,掃描電子顯微鏡(SEM)或者聚焦離子束(FIB)
整合優勢
-樣品掃描臺上下光路開闊,可以做光學或電子/離子光學特征同步掃描聯用
-將所有形式的光學顯微鏡整合在一起,包括上置光學顯微鏡和下置光學顯微鏡同時整合在探針掃描平臺上
-整合了所有標準微區拉曼180度背反射幾何形貌配置。下置光學顯微鏡和Nanonics*的上下置光學顯微鏡可以做不同的透明和非透明樣品
-具有所有常規的遠場光學操作模式包括相位成像和界面差別對比
-可以使用上置,下置和雙置光學顯微鏡做任何模式近場光學掃描,無需更換掃描頭保證了實驗結果穩定性和可重復性。
探測器類別
-PMT, APD 或者InGaAs 紅外探測器
激光光源
-可提供深紫外到近紅外激光
電視頻系統
-在線CCD 視頻成像
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