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長春市博盛量子科技有限公司

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ATLEX-500-I

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更新時間：2024-08-22 08:01:26瀏覽次數(shù)：47次

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  激光系列產(chǎn)品

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長春市博盛量子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品型號：ATLEX-500-I品牌名稱：德國ATLLasertechnik德國ATLLasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖，并在該領(lǐng)域保持技術(shù)地位

詳細介紹

產(chǎn)品型號：ATLEX-500-I

品牌名稱：德國ATL Lasertechnik

德國ATL Lasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖，并在該領(lǐng)域保持技術(shù)地位。

產(chǎn)品特點：

· 軟電暈預(yù)電離

· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

· 激光頭容積 < 3L

· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 集成真空泵和鹵素過濾器

· 全部風(fēng)冷，主動熱管理

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)

· 符合RoHS規(guī)范

產(chǎn)品應(yīng)用：

· 微機械加工

· 激光燒蝕

· 光譜學(xué)

· 計量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：

ATLEX-500-I 產(chǎn)品參數(shù)
氣體介質(zhì)	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關(guān)技術(shù)	固態(tài)開關(guān)
脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
平均功率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
重復(fù)頻率	500					Hz
脈沖寬度²	5 – 8					ns
光束尺寸²(V x H)	4 x 6					mm
光束發(fā)散角²(V x H)	1 x 2					mrad
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）	< 3					%
尺寸（長x寬x高）	540 x 470 x 370					mm
重量	60					kg
冷卻	Cooling Air / Optional Liquid
電力需求	230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進而更改的，恕不另行通知。

¹在重復(fù)頻率情況下測得：應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。

²典型值，FWHM

關(guān)鍵詞：真空泵

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