1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng)

· 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性.

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命/

· 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對外釋放.

密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。

電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)

溫度: 1100°C
連續(xù)溫度: 1000°C

加熱區(qū)長度: 440mm

的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)， 請點(diǎn)擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )

外管:    OD100 x ID 96 x 1400, mm
內(nèi)管:    OD80 x ID 75 x 1800 mm

· 一對 SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空。

· 爐子底部裝有一對滑軌

· 爐子可以手動從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。

· 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。

· 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。

左法蘭（點(diǎn)擊查看大圖）                               右法蘭（點(diǎn)擊查看大圖）

· 極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
10^-5 torr (分子泵)

· 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

· 溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。

· 控溫儀表操作視頻

控溫精度: +/-1°C

4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制.

· MFC 1范圍:  0~100 sccm

· MFC 2范圍:  0~200 sccm

· MFC 3范圍:  0~200 sccm

· MFC 4范圍:  0~500 sccm

· 氣路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套

· 一個混氣罐.

· 每路氣路都有一個獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。

· 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請看下圖

MFC 面板(點(diǎn)擊放大)

· 安裝在移動架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr.

· 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 .

· 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.

選擇: 可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr

生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

爐體: 550 x 380 x 520
移動架: 600x600x597

300 lb

一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）

CE 認(rèn)證

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）