型號:GSL-1100X-XX-S2
產品概述:GSL-1100X-XX-S2是一款雙溫區的大口徑管式爐,爐管兩端安裝有鉸鏈式不銹鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應用于在真空或氣氛保護環境下對材料進行燒結或退火等熱處理。溫控方面,設備可達到溫度為1100℃,可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃。
名稱 | 1100℃雙溫區大口徑管式爐(6,8.5,11英寸管徑)GSL-1100X-XX-S2 | ||||||
設備型號 |
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高純石英管尺寸 |
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石英舟(可選)可兼容8"直徑基片 |
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基本參數 | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電源:AC220,50Hz 8KW | ||||||
加熱區 | 規格1:加熱區長度:600mm 雙溫區:300mm+300mm 規格2:加熱區長度:900mm 雙溫區:450mm+450mm | ||||||
爐體結構 | ·采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統 ·設備中配有2個氧化鋁管堵,設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細資料) ·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ·該爐可作為退火或擴散爐,可用于8"晶片放在對應石英舟中
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加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) | ||||||
密封法蘭 | ·采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請點擊) ·可選購一套溫度測試裝置(鎧裝熱偶、補償導線和溫度儀表),用于測試爐管內部的溫度 ·左側水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4"寶塔嘴接頭 ·右側水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉接頭)
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溫控系統 | ·包含一款YD518P型溫度控制器 ·PID自動控溫系統 ·智能化30段可編程控制 ·控溫精度:±1℃ ·兩個溫區分別有兩個獨立的溫控系統控制 ·默認DB9 PC通信連接端口 ·通過MET認證 ·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據
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溫度校準(可選) | ·定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括 ·48"L(1/4"OD)K型熱電偶校準 ·一Omega溫度校準器 ·熱電偶補償線 ·你可以考慮分子泵,真空度可達10-5Torr
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外形尺寸 | 規格1:1880 L x 700W x 930 H mm
規格2:2180 L x 700W x 930 H mm | ||||||
凈重 | 約200 kg | ||||||
質保期 | 一年保修,終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ntentId=41.html"> | ||||||
真空系統 | ·多種真空系統可選 ·可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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質量認證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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使用注意事項 | ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa ·由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當 ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ·石英管的長時間使用溫度<1100℃ ·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) | ||||||
應用提示 | ·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭 ·為了在管式爐內獲得準確的溫度,在使用前需要校準溫度,請點擊這里了解如何使用 |