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上一頁：卷對卷石墨烯連續(xù)生長設(shè)備

產(chǎn)品名稱：迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（型號： BTF-1200C-R-S-PECVD）

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)

本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料，是目前Z的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備。可以用于動(dòng)力電池，提升電池內(nèi)阻和能量密度，有效解決新能源汽車電池的問題。

1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；

2.可左右大角度傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間。

3.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等，配備真空系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn)，針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

技術(shù)參數(shù)

1、加熱系統(tǒng)：

型號	BTF-1200C-R-S-PECVD
顯示模式	10"液晶觸屏顯示
Z高溫度	1100℃
升溫速率	10℃/S
控溫精度	±1℃
加熱元件	電阻絲
熱電偶	K型
控溫方式	10"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。
爐管尺寸	Φ25800mm （中間部位尺寸Φ50225）
爐管轉(zhuǎn)速	3~13r/min
傾斜角度	0~35°
加熱功率	2KW

2、射頻電源

信號頻率	13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍	0W~100W
Z大反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷

3、四路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

外形尺寸	600x600x650mm
連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	50sccm,50sccm,200sccm,ａnd 500sccm（量程和數(shù)量可選）
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
Z大壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機(jī)組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m3/h
實(shí)驗(yàn)真空	10^-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
外形尺寸	600×600×600mm
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連
配用規(guī)管	ZJ-52T電阻規(guī)
測量范圍	10 ⁵ ～10^-1 Pa
控制方式	5×10 ³ ～5×10^-1 Pa
控制方式	繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載
通訊接口	USB
外形尺寸	1000400720mm