污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
堀場儀器（上海）有限公司
堀場儀器（上海）有限公司
光纖式藥液濃度計 CS-100F1系列
HORIBA藥液濃度計CS-100F1系列是針對在半導體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進行高精度濃度監測的設備。
它通過利用光纖傳播光信號，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實現實時在線測量。 同時，1臺單一的濃度計最多可以測量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統中進行單線監測成為了可能。此外，測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。
特點
●利用1臺濃度計可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。
●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。
●監測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩定性。
●輕便小巧的設計有利于節省清洗裝置的空間。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產量。
主要特點
●利用1臺濃度計可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。
1臺濃度計中最多可存儲4種校正系數(藥液或量程)，可監測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。
●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實現了實時的濃度監測。為了強調穩定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。
●監測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
以大約3秒這樣短的測量周期實現了高速響應性。支持多槽、單槽?單晶圓方式清洗裝置的精確濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩定性。
使用光纖傳輸光源信號確保了了濃度計和檢測單元的*分離。由于可以把濃度計設置在藥液氣體以外，所以不需要擔心腐蝕等現象。
●輕便小巧的設計有利于節省清洗裝置的空間。
由于底面面積只有本公司原來產品的2/3左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節省空間。可以很容易地組裝到清洗裝置中。除此以外，由于重量較輕，所以也可以設置在清洗裝置的上面。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產量。
通過使用監測輸出，進行各成分藥液的補給控制，從而實現了高再現性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高提高產量。
型號 | CS-151F1 | CS-152F1 | CS-150F1 | ||
|---|---|---|---|---|---|
測量對象 | SC-1 | SC-2 | SPM | ||
1臺最多可進行4種藥液或量程測量的多樣監測。 | |||||
測量原理 | 吸收光譜測定法 | ||||
濃度計算原理 | 溫度補償型多變量解析法 | ||||
量程 | NH3：0.00%?1.00% | HCl：0.00%?2.00% | H2SO4：70.0%?96.0% | ||
再現性精度(質量%) (室溫變化±1℃以內) | NH3：±0.15% | HCI：±0.15% | H2SO4：±0.50% | ||
樣品溫度 | 20?80℃(使用在線檢測單元) | ||||
測量周期 | 約3秒 | ||||
LCD顯示以及輸入內容 |
| ||||
串行輸入 |
| ||||
并行輸入 |
| ||||
并行輸出 |
| ||||
藥液溫度輸入 | 接頭排連接(接線柱螺絲M3) | ||||
模擬輸出 | ?成分濃度報警4種：4?20mA | ||||
光纖 | CS-100F1系列專用光纖(安裝溫度25±15℃) | ||||
樣品檢測單元 | 可適用于各種藥液的專用樣品檢測單元(在線檢測單元、檢測單元裝置)。 | ||||
電源 | AC 100V?230V(單相)±10%、50/60Hz、約100VA | ||||
外形尺寸 | 205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部除外) | ||||
重量 | 大約11kg | ||||
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環保在線 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
