日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器

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更新時間：2023-05-27 19:06:29瀏覽次數：197次

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產品簡介

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詳細介紹

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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器產品簡介：

HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微電子加工制造業等。

提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封

適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，低成本：產品系列中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60

用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標準)

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器應用領域：

化工/石化/石油/天然氣

醫藥/生命科學

食品飲料

LED FPD

冶金

電力能源及水處理

造紙

環境保護及控制

汽車

半導體/光伏

微電子

EPC及系統集成商

我們會努力按照原廠技術參數翻譯編輯，如技術參數中英文有差異，以英文參數為準。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控制器技術參數：

型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50

適用氣體種類*1	非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質	SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號	非通電時　關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)	10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)	2?99% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)	0?99% F.S.
響應速度	1秒以內(T98)
流量精度	±1% F.S.
直線性	±0.5% F.S.
反復性	±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)	10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)	300kPa(G)以下
耐　壓	1MPa(G)以下
外部泄漏率	1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環境溫度	5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號	0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.
流量輸出信號	0?5VDC(很小負荷電阻2kΩ)
驅動電源	+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2	1/4SWL 類型