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日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡

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更新時間:2022-10-23 19:34:37瀏覽次數:128次

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產品簡介

日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡 日本檢驗儀器制造商協會的 JIMA 分辨率測試圖 JIMA RT RC-04 是采用新的半導體光刻技術制作的顯微圖。 ......

詳細介紹

  • 儀器詳情
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儀器詳情Particulars
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日本檢驗儀器制造商協會的 JIMA 分辨率測試圖 JIMA RT RC-04 是采用新的半導體光刻技術制作的顯微圖。


日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡產品簡介:

日本檢驗儀器制造商協會的 JIMA 分辨率測試圖 JIMA RT RC-04 是采用新的半導體光刻技術制作的顯微圖。

它用于校準和監控系統分辨率,并確保您的微焦點或納米分辨率 X 射線檢測系統的高質量結果。

JIMA RT RC-04 支持 0.1 微米到 10 微米之間的分辨率。這對應于 0.2 微米和 20 微米之間的焦點尺寸。


日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡-詳情.jpg


日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡應用:

修復 X 射線系統操縱器上的分辨率測試。選擇探測器、樣品和試管的距離,以實現高幾何放大倍率。選擇所需的 X 射線參數。

將分辨率測試放置在管子的前面,使線條圖案清晰可見。使用操縱器移動測試圖,以便可以看到距離更短的下一行。只要清楚地解決了單獨的行,就繼續。焦點大小近似計算為小分辨率乘以 2。

注意:盡量減少輻射的持續時間。在手術過程中關閉 X 射線。目標前面的熱量可能會損壞測試圖。


日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡技術參數:

線和空間大小:0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0 ,4.0 ,5.0 ,6.0, 7.0, 8.0, 9.0,10.0 µm(行與空等寬)

每條狹縫由8條線組成,T型布局

吸收材料:鎢,厚度>= 650nm

保護膜:PET-film 25 μm(包括粘合層)

硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)

外殼尺寸:40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)

芯片尺寸:5 x 5 x 0.06 毫米(寬 x 高 x 深)

圖案精度:公差:+/- 10%

工作溫度范圍:10°C 至 70°C

提供帶測試報告的空氣懸掛箱.


日本JIMA RT RC-04分辨率測試卡.jpg


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儀器參數Technical data
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關鍵詞:監控系統 芯片

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