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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品介紹名稱石英真空等離子清洗機型號TS-SY05外形尺寸（W×H×D）600×420×320mm反應腔尺寸Φ160×240mm反應腔容量5L反應腔體材料石英真空泵油泵/干泵（選配）射頻電源13
| 名稱 | 石英真空等離子清洗機 |
| 型號 | TS-SY05 |
| 外形尺寸（W×H×D） | 600×420×320mm |
| 反應腔尺寸 | Φ160×240mm |
| 反應腔容量 | 5L |
| 反應腔體材料 | 石英 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
| 射頻電源 | 13.56MHZ |
| 處理氣體 | O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
| 輸出功率 | 0-300W可調 |
石英腔等離子清洗機由于其的腔體材料，使得等離子清洗機的腔體溫度比普通的不銹鋼腔體溫度要低得多。對于材料溫度有要求的產品很有幫助。而且石英等離子清洗機綠色環保、不使用化學溶劑、無二次污染。操作簡單、使用和維護成本極低。
石英型等離子清洗器采用電感耦合式工作原理，利用真空泵達到一定的真空值后，在電感的作用下，形成了活性很高的等離子體，由此產生的等離子體可以達到表面改性清洗處理的效果。通過其處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
石英型等離子清洗器采用電感耦合式工作原理，在微波管、零件絕緣方面作用很突出，適用于高潔凈度的敏感產品處理；廣泛地被大中院校、科研機構、企業研發機構和實驗室采用。
其產品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。
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