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深圳維爾克斯光電有限公司
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面精度保證反射鏡也叫做高平整度反射鏡，在眾多的西格瑪光機反射鏡中，由于面型精度高而出色，高精度反射鏡專為ND YAG激光器以及更高頻率激光器而設計。
面精度保證反射鏡也叫做高平整度反射鏡，在眾多的西格瑪光機反射鏡中，由于面型精度高而出色，高精度反射鏡專為ND YAG激光器以及更高頻率激光器而設計。西格瑪光機OptoSigma的高平整度反射鏡(High Surface Accuracy Mirrors)在鍍膜后表面精度可達到λ/10
高面型精度反射鏡的主要特點：
- OptoSigma高精度平面反射鏡的表面精度（鍍膜后）比以往的標準多層電介質膜平面反射鏡（TFM）更高。
- 通過使用合成熔融石英和增加基板厚度，可以提高Sigma反射鏡的剛度。
- 西格瑪光機反射鏡包括用于紫外、YAG和其他激光器等各種波長的高反射鏡。
| 共同參數 | |
| 材質 | 合成熔融石英 |
| 鍍膜 | 多層電介質涂層 |
| 入射角 | 45°±3° |
| 表面精度 | λ/10 |
| 平行度 | ＜3′ |
| 表面質量 | 10-5 |
| 有效直徑 | 外徑的80% |
| 反面 | 光學拋光 |
該系列反射鏡專為波長1064nm的ND YAG激光器以及波長248nm的更高頻率激光器而設計。光學鍍膜為多層電介質膜，這款多層電介質鏡的入射角度是45°±3°，反射率高達R>99.5%，損傷閾值高達20J/cm2。高精度反射鏡是通過優化基板材料、厚度和涂層條件實現的，其材質是熔融石英，因此，基板變厚，基板的剛性更好。
西格瑪光機反射鏡具備很多的標準品，同時，OptoSigma還可根據用戶的需求定制生產各種反射鏡，有需求的用戶可聯系我們為您提供更多的詳細信息。
面精度保證反射鏡圖示
高面型精度反射鏡的注意事項：
- 該產品不提供標準表面精度數據，若是需要表面精度數據文件，則需要額外的文件制作費用，請聯系我們了解詳情。
- 對于多層電介質膜，入射光束的偏振態不同，反射率波長特性也不同。P偏振的反射率低于S偏振，且反射帶較窄，其中，反射率由P偏振光和S偏振光的平均值來表示。
- 如果不將入射角設置為45°而使用，反射率可能會降低。
- 如果不在適用的波長上使用，反射率也可能會降低。
面精度保證反射鏡的表面精度數據（參考數據）：
- 表面精度測量方法：使用Zygo激光干涉儀測量
- 表面精度測量波長：632.8nm
- 表面精確度溫度：23°C±2°C
面精度保證反射鏡的規格參數表：
| 規格 | 波長 | 直徑 | 厚度 | 反射率 | 損傷閾值 |
| HTFM-12.7C08-248 | 248nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-248 | 248nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-248 | 248nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-248 | 248nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-248 | 248nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-266 | 266nm | 12.7mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-266 | 266nm | 25.4mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-266 | 266nm | 30mm | 8mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-266 | 266nm | 50mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-266 | 266nm | 50.8mm | 11mm | >99.2 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-308 | 308nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-308 | 308nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-30C08-308 | 308nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50C11-308 | 308nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-308 | 308nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 2J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-355 | 355nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-355 | 355nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-30C08-355 | 355nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50C11-355 | 355nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-355 | 355nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 5J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-532 | 532nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-532 | 532nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-30C08-532 | 532nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50C11-532 | 532nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-532 | 532nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 7J/cm2 |
| HTFM-12.7C08-1064 | 1064nm | 12.7mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-25.4C08-1064 | 1064nm | 25.4mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-30C08-1064 | 1064nm | 30mm | 8mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50C11-1064 | 1064nm | 50mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
| HTFM-50.8C11-1064 | 1064nm | 50.8mm | 11mm | >99.5 % | 20J/cm2 |
*激光脈寬10ns，重復頻率20Hz
OptoSigma高精度平面反射鏡的外形圖和功能說明圖：
左圖：外形圖，右圖：功能說明圖
OptoSigma高精度平面反射鏡的反射率曲線圖：
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