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深圳維爾克斯光電有限公司
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原子力顯微鏡需要納米級別的隔振要求，這在計量學上是極其嚴格的，為了擺脫建筑物和地面的振動對原子力顯微鏡觀測的影響，Minusk原子力顯微鏡隔振平臺至關重要。Minusk的隔振平臺憑借其負剛度技術使顯微鏡免除外界振動的影響，能夠工作在極其穩定的狀態之下。因此每一個使用原子力顯微鏡的科研單位和機構都應該配備有Minusk原子力顯微鏡隔振平臺。
MinusK Technology公司擁有的負剛度技術，制造以及銷售的隔振產品。隔振平臺(Vibration Isolation platform)，又稱減振平臺、隔振臺、隔震平臺和減震平臺等，是通過將建筑物以及樓層所產生的振動降低到的水平，從而使對振動敏感的儀器和設備能夠在的狀態下運行。減振平臺被廣泛應用于納米科技、生物科學、半導體產業、材料研究、航天器零重力環境模擬和音頻。MinusK隔振平臺使用無源的手段，通過限制振動耦合到要隔離振動的對象來實現隔振，其隔振機制是通過機械連接方式進行振動隔離，振動能量到達隔離對象之前將其消散以達到隔振效果。MinusK減震平臺通過使用彈簧和負剛度裝置來實現隔振。對于諧振頻率為1/2赫茲的系統，振動隔離頻率開始于1赫茲左右，并且隔振性能較振動隔離頻率開始于5至10赫茲的氣浮減振平臺好50至100倍。
顯微鏡需要納米和微米級的隔振要求，這在計量學上是極其嚴格的。為了擺脫實驗室或無塵室的外界微小振動擾動和結構噪聲對顯微鏡使用的影響，顯微鏡減振平臺至關重要，MinusK隔振臺通過負剛度技術以及無源技術使顯微鏡穩定的工作在的性能狀態下。并且MinusK提供的隔振臺具有理想的蹦極系統以及便利的臺式結構，可以解決許多與顯微鏡放置相關的安裝問題，適用于小型的顯微鏡，如原子力顯微鏡。對于原子力顯微鏡來說，隔振是必要的，原子力顯微鏡隔震臺能有效隔離建筑物的振動對原子力顯微鏡所造成的擾動，每一個使用原子力顯微鏡的科研機構都應使用MinusK的原子力顯微鏡隔震臺，從而獲得更高精度的圖像以及數據，實驗人員從而無需擔心外部環境對顯微鏡造成的影響。
隔振平臺的主要特點：
-使用負剛度隔離技術
-可隔離低頻振動
-無源
-水平和垂直固有頻率可低至1/2赫茲
MinusK減振平臺是使用負剛度隔離技術的無源振動隔離裝置，無源裝置的成本通常低于有源裝置，并且可靠、安全以及操作簡單。在干涉測量、顯微鏡（包括SPM、SEM和AFM等）、納米加工和顯微硬度測試等的技術應用中，減震平臺可以使儀器發揮出的性能。
隔振平臺的應用領域：
-顯微鏡（SPM、SEM和AFM原子力顯微鏡等）
-微硬度測試/納米壓痕
-激光/光學系統
-航天器地面試驗
-生物學/神經科學
-微電子/微機電系統制造
-低溫恒溫器
-分析天平
-音頻再現
-真空隔離
-大排量系統
-重型系統
BM-10臺式隔振平臺：
BM-10臺式隔震臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震平臺的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，12英寸寬和深，并且無需空氣或電。它提供了1.5赫茲的水平固有頻率和標志性的1/2赫茲垂直固有頻率。
| BM-10系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約16 kg 尺寸：310mm W x 310mm D x 117mm H | |
| 10BM-10 | 0 - 4.5 kg |
| 25BM-10 | 4.5 - 14 kg |
| 50BM-10 | 14 - 25 kg |
| 75BM-10 | 22.5 - 36 kg |
| 100BM-10 | 34 - 50 kg |
BM-8臺式隔振平臺：
BM-8臺式隔震臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺的10-100倍，尺寸只有4.6英寸高，并且無需空氣或電。這種減震平臺極易使用，。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標志性的1/2赫茲垂直固有頻率。
| BM-8系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H | |
| 25BM-8 | 4.5 - 14 kg |
| 50BM-8 | 11 - 25 kg |
| 100BM-8 | 23 - 48 kg |
| 125BM-8 | 40 - 59 kg |
| 150BM-8 | 57 - 70 kg |
| 175BM-8* | 68 - 81.5 kg |
| 200BM-8* | 79.5 - 93 kg |
| 225BM-8* | 90.5 - 104 kg |
| 250BM-8* | 102 - 115.5 kg |
| *重量：約21 kg | |
BM-6臺式隔振平臺：
新的BM-6臺式隔震平臺比一個全尺寸的氣浮隔振臺提供了更好的性能，只有4.6英寸高，并且不需要空氣，這種新的減振平臺達到了一個新的價格點，并且非常易于使用。它提供1.5赫茲的水平固有頻率和2.5赫茲的垂直固有頻率，并且無需空氣和電。
| BM-6系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約16 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 117mm H | |
| 25BM-6 | 4.5 - 14 kg |
| 50BM-6 | 11 - 25 kg |
| 100BM-6 | 23 - 48 kg |
BM-4臺式隔振平臺：
成本效益的臺式隔震平臺，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。
| BM-4系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約27 kg 尺寸：427mm W x 427mm D x 216mm H | |
| 25BM-4 | 0 - 11 kg |
| 50BM-4 | 9 - 25 kg |
| 100BM-4 | 23 - 48 kg |
| 150BM-4 | 41 - 70 kg |
| 200BM-4 | 63 - 93 kg |
BM-1臺式隔振平臺：
容量的臺式減震平臺，一款經濟高效的產品，承重高達680磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。
| BM-1系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H | |
| 100BM-1 | 27 - 48 kg |
| 150BM-1 | 41 - 70 kg |
| 250BM-1 | 82 - 123 kg |
| 350BM-1 | 132 - 168 kg |
| 500BM-1 | 164 - 239 kg |
| 650BM-1 | 227 - 309 kg |
| 重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸 | |
| 850BM-1 | 285 - 408 kg |
| 1000BM-1 | 403 - 476 kg |
BA-1臺式隔振平臺：
容量的臺式減震平臺，一款經濟高效的產品，承重高達1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。
| BA-1系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約36 kg 尺寸：610mm W x 572mm D x 216mm H | |
| 100BA-1 | 27 - 48 kg |
| 150BA-1 | 41 - 70 kg |
| 250BA-1 | 82 - 123 kg |
| 350BA-1 | 132 - 168 kg |
| 500BA-1 | 164 - 239 kg |
| 650BA-1 | 227 - 309 kg |
| 重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸 | |
| 850BA-1 | 285 - 408 kg |
| 1000BA-1 | 403 - 476 kg |
CT-2極薄低高度臺式隔振平臺：
緊湊型臺式減震平臺（CT-2）采用了MinusK的突破性技術，只需2.7英寸高的隔離平臺就可以獲得市場上性能。該隔震平臺提供的性能是全尺寸氣浮隔震臺的10-100倍，并且無需空氣或電，它提供1.5赫茲的水平固有頻率和標志性的1/2赫茲垂直固有頻率。
| CT-2系列型號 | 載荷范圍 |
| 重量：約13.6 kg 尺寸：457mm W x 508mm D x 68.6mm H | |
| 30CT-2 | 8.2 - 14 kg |
| 60CT-2 | 19 – 31.7 kg |
| 100CT-2 | 31 - 47 kg |
| 150CT-2 | 51 – 71.5 kg |
| 200CT-2 | 70.5 – 95.2 kg |
| 250CT-2 | 93 – 114.3 kg |
WS-4緊湊型隔振平臺：
一個經濟有效的隔震平臺，承重高達1000磅，它提供1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率。
| WS-4系列型號 | 載荷范圍 |
| 總重量：約62 kg 隔振器重量：約36 kg 支架重量：25 kg 尺寸：610mm W x 610mm D x 838mm H | |
| 100WS-4 | 27 - 48 kg |
| 150WS-4 | 41 - 70 kg |
| 350WS-4 | 82 - 123 kg |
| 500WS-4 | 132 - 168 kg |
| 500WS-4 | 164 - 239 kg |
| 650WS-4 | 227 - 309 kg |
| 重量：約41 kg 尺寸：比上述型號高0.675英寸 | |
| 850WS-4 | 285 - 408 kg |
| 1000WS-4 | 403 - 476 kg |
MK26符合人體工程學設計的超低頻隔振平臺和工作站
由不同型號的BM-1所設計的隔振工作站，可設計為無孔結構，無添加桌面材質的蜂巢結構的載荷范圍如下表所示：
| MK26系列型號 | 載荷范圍 |
| MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm | |
| MK2601-01-XX: 250BM-1 | 33 kg -74 kg |
| MK2602-01-XX: 350BM-1 | 83 kg -119 kg |
| MK2603-01-XX: 500BM-1 | 115 kg -190 kg |
| MK2604-01-XX: 650BM-1 | 178 kg -260 kg |
| MK26-76cm X 91cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | |
| MK2605-01-XX: 850BM-1 | 223 kg - 345 kg |
| MK2606-01-XX: 1000BM-1 | 341 kg - 413 kg |
| MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm | |
| MK2601-22-XX: 250BM-1 | 0 kg - 39 kg |
| MK2602-22-XX: 350BM-1 | 48 kg - 84 kg |
| MK2603-22-XX: 500BM-1 | 80 kg -155 kg |
| MK2604-22-XX: 650BM-1 | 143kg -225 kg |
| MK26-91cm X 122cm 帶有4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | |
| MK2605-22-XX: 850BM-1 | 179 kg - 301 kg |
| MK2606-22-XX: 1000BM-1 | 297 kg - 369 kg |
桌面材質選擇，包括白色塑料、不銹鋼、黑色塑料、防靜電層，改變桌面材質的載荷范圍如下表所示：
| MK26系列型號 | 載荷范圍 |
| MK26-76cm X 91cm 帶2英寸桌面的高度77.4-81.25cm | |
| MK2601-01-XX: 250BM-1 | 23 kg - 64 kg |
| MK2602-01-XX: 350BM-1 | 73 kg - 110 kg |
| MK2603-01-XX: 500BM-1 | 105 kg - 180 kg |
| MK2604-01-XX: 650BM-1 | 169 kg - 250 kg |
| MK26-91cm X 122cm 帶有2英寸桌面的高度77.4-81.25cm | |
| MK2601-22-XX: 250BM-1 | 0 kg - 23 kg |
| MK2602-22-XX: 350BM-1 | 32 kg - 69 kg |
| MK2603-22-XX: 500BM-1 | 69 kg - 139 kg |
| MK2604-22-XX: 650BM-1 | 127 kg - 209 kg |
MK52符合人體工程學設計的超低頻光學平臺和工作站
由不同型號的BM-1所設計的隔振工作站，可設計為無孔結構，無添加桌面材質的蜂巢結構載荷范圍如下表所示：
| MK52系列型號 | 載荷范圍 | |
| MK52-91cm X 122cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | ||
| MK5201-3648-XX: 250BM-1 2英寸 | 90 kg - 172kg | |
| MK5201-3648-XX: 250BM-1 4英寸 | 67 kg - 148 kg | |
| MK5202-3648-XX: 350BM-1 2英寸 | 190 kg - 262 kg | |
| MK5202-3648-XX: 350BM-1 4英寸 | 166 kg - 239 kg | |
| MK5203-3648-XX: 500BM-1 2英寸 | 253 kg - 403 kg | |
| MK5203-3648-XX: 500BM-1 4英寸 | 230 kg - 380 kg | |
| MK5204-3648-XX: 650BM-1 4英寸 | 357 kg - 520 kg | |
| MK5205-3648-XX: 850BM-1 4英寸 | 475 kg - 720 kg | |
| MK5206-3648-XX: 1000BM-1 4英寸 | 711 kg - 856 kg | |
| MK52-91cm X 152cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm | ||
| MK5201-3660-XX: 250BM-1 2英寸 | 67 kg - 148 kg | |
| MK5201-3660-XX: 250BM-1 4英寸 | 37 kg - 119 kg | |
| MK5202-3660-XX: 350BM-1 2英寸 | 166 kg - 239 kg | |
| MK5202-3660-XX: 350BM-1 4英寸 | 137 kg - 210 kg | |
| MK5203-3660-XX: 500BM-1 2英寸 | 230 kg - 380 kg | |
| MK5203-3660-XX: 500BM-1 4英寸 | 200 kg - 350 kg | |
| MK5204-3660-XX: 650BM-1 4英寸 | 327 kg - 491 kg | |
| MK5205-3660-XX: 850BM-1 4英寸 | 445 kg - 690 kg | |
| MK5206-3660-XX: 1000BM-1 4英寸 | 681 kg - 826 kg | |
| MK52-91cm X 183cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm | ||
| MK5201-3672-XX: 250BM-1 2英寸 | 43 kg - 125 kg | |
| MK5201-3672-XX: 250BM-1 4英寸 | 8 kg - 89 kg | |
| MK5202-3672-XX: 350BM-1 2英寸 | 143 kg - 215 kg | |
| MK5202-3672-XX: 350BM-1 4英寸 | 108 kg - 180 kg | |
| MK5203-3672-XX: 500BM-1 2英寸 | 206 kg - 356 kg | |
| MK5203-3672-XX: 500BM-1 4英寸 | 171 kg - 321 kg | |
| MK5203-3672-XX: 650BM-1 4英寸 | 298 kg – 461 kg | |
| MK5205-3672-XX: 850BM-1 4英寸 | 416 kg - 661 kg | |
| MK5206-3672-XX: 1000BM-1 4英寸 | 652 kg - 797 kg | |
| MK52-91cm X 244cm框架 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | ||
| MK5202-3696-XX: 350BM-1 4英寸 | 49 kg - 121 kg | |
| MK5203-3696-XX: 500BM-1 4英寸 | 112 kg - 262 kg | |
| MK5204-3696-XX: 650BM-1 4英寸 | 239 kg - 403 kg | |
| MK5205-3696-XX: 850BM-1 4英寸 | 357 kg - 602 kg | |
| MK5206-3696-XX: 1000BM-1 4英寸 | 593 kg - 738 kg | |
| MK52-122cm X 152cm框架 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | ||
| MK5202-4860-XX: 350BM-1 4英寸 | 88 kg - 161 kg | |
| MK5203-4860-XX: 500BM-1 4英寸 | 151 kg - 301 kg | |
| MK5204-4860-XX: 650BM-1 4英寸 | 279 kg - 442 kg | |
| MK5205-4860-XX: 850BM-1 4英寸 | 396 kg - 641 kg | |
| MK5206-4860-XX: 1000BM-1 4英寸 | 632 kg - 777 kg | |
| MK52-122cm X 183cm框架 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | ||
| MK5202-4872-XX: 350BM-1 4英寸 | 49 kg - 121 kg | |
| MK5203-4872-XX: 500BM-1 4英寸 | 112 kg - 262 kg | |
| MK5204-4872-XX: 650BM-1 4英寸 | 239 kg - 403 kg | |
| MK5205-4872-XX: 850BM-1 4英寸 | 357 kg - 602 kg | |
| MK5206-4872-XX: 1000BM-1 4英寸 | 593 kg - 738 kg | |
| MK52-122cm X 244cm框架 帶4英寸桌面的高度82.5-86.5cm | ||
| MK5202-4896-XX: 350BM-1 4英寸 | 0 kg - 43 kg | |
| MK5203-4896-XX: 500BM-1 4英寸 | 34 kg - 184 kg | |
| MK5204-4896-XX: 650BM-1 4英寸 | 161 kg - 324 kg | |
| MK5205-4896-XX: 850BM-1 4英寸 | 279 kg - 524 kg | |
| MK5206-4896-XX: 1000BM-1 4英寸 | 515 kg - 660 kg | |
| MK52系列型號 | 載荷范圍 |
| MK52-91cm X 122cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm | |
| MK5201-3648-XX: 250BM-1 | 74 kg - 156 kg |
| MK5202-3648-XX: 350BM-1 | 174 kg - 247 kg |
| MK5203-3648-XX: 500BM-1 | 238 kg - 387 kg |
| MK5204-3648-XX: 650BM-1 | 365 kg - 528 kg |
| MK52-91cm X 152cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm | |
| MK5201-3660-XX: 250BM-1 | 47 kg - 129 kg |
| MK5202-3660-XX: 350BM-1 | 147 kg - 219 kg |
| MK5203-3660-XX: 500BM-1 | 210 kg - 360 kg |
| MK5204-3660-XX: 650BM-1 | 337 kg - 501 kg |
| MK5205-3660-XX: 850BM-1 | 455 kg - 700 kg |
| MK52-91cm X 183cm框架 帶2英寸桌面的高度77.5-81.25cm | |
| MK5201-3672-XX: 250BM-1 | 20 kg - 101 kg |
| MK5202-3672-XX: 350BM-1 | 119 kg - 192 kg |
| MK5203-3672-XX: 500BM-1 | 183 kg - 333 kg |
| MK5203-3672-XX: 650BM-1 | 310 kg - 473 kg |
用于大型顯微鏡的FP-1地面式隔振平臺（定制隔振平臺）：
FP-1由一個大鋼制平臺，兩個到三個MinusK SM-1負剛度隔振器，連接隔振器與平臺的支架，隔振器地面和用于分散隔振器地面以及壓載物重量的螺旋千斤鼎構成。該隔震平臺適用于大型顯微鏡，并且該隔振系統可以實現1/2赫茲的水平固有頻率和垂直固有頻率，此外，系統大的重量有助于減少連接到顯微鏡上的外部線路，電纜，軟管對隔離系統的影響。
顧客傾向于自行組裝此減震平臺的可以購買此套SM-1負剛度隔振器的設計方案，并在當地自行組裝平臺以節省制造以及運輸成本。
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