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沈陽科晶自動化設備有限公司
帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV
產品簡介:帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調整三個溫區而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。
產品型號 | 帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上 5、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有冷系統,爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。 2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。 3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數字真空計。 4、采用三個獨立PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。 5、已通過CE認證。 |
技術參數 | 1、電源:單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保險絲) 2、石英管:外徑Ø125mm,內徑120mm,長1400mm,帶有一對真空密封法蘭 3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區域:溫區I長229mm,溫區II長457mm,溫區III長229mm,總長915mm 5、恒溫區域:三個溫區為同一溫度時為625mm,溫區II為110mm 6、工作溫度:1200℃,連續工作1100℃ 7、升降溫速率:20℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、熱電偶:K型 10、浮子流量計:3個,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、數字真空計:10-4torr |
產品規格 | 尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg |
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