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沈陽科晶自動化設備有限公司


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帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2022-12-08 14:43:36瀏覽次數:118次

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產品簡介

帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV

詳細介紹

產品簡介:帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調整三個溫區而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結樣品及CVD等實驗。

 

 

產品型號

帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氣體,需自備氣瓶氣源

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、雙層殼體,配有冷系統,爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度

3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數字真空計

4采用三個獨立PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。

5、已通CE認證

技術參數

1電源:單相AC 208-240V   50/60Hz  7KW 40A保險絲)

2、石英管:外徑Ø125mm,內徑120mm,長1400mm,帶有一對真空密封法蘭

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

4、加熱區域:溫區I229mm,溫區II457mm,溫區III229mm,總長915mm

5、恒溫區域:三個溫區為同一溫度時為625mm,溫區II110mm

6工作溫度:1200連續工作1100

7、升降溫速率:20/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:K

10、浮子流量計:3個,量程0-100ml/min、0-160ml/min0-250ml/min

11、數字真空計:10-4torr

產品規格

尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg


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