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薄膜厚度測量系統(tǒng)TF200

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地沈陽市

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更新時間：2023-06-30 13:37:24瀏覽次數(shù)：202次

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產(chǎn)品簡介

薄膜厚度測量系統(tǒng)TF200

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。

產(chǎn)品型號

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

主要特點

快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價比高

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等）

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）

醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯涂層球囊/壁厚藥膜等）

 

波長范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準(zhǔn)確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者）

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸（可選微光斑附件。）

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

是

是

是

是

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選


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