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混氣系統2路質子GSL-2Z 水冷系統

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2023-07-29 09:51:29瀏覽次數:247次

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產品簡介

混氣系統2路質子GSL-2Z

詳細介紹

產品簡介:混氣系統2路質子GSL-2Z用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架內,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥,可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器。

 

 

產品型號

混氣系統2路質子GSL-2Z

主要特點

精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術參數

1、電源:185-245V  50Hz

2、輸出功率:18W

3制范圍:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

4、壓力:3×106  Pa

5、準確度:±1%FS

6、線性:±0.5-1.5%

7、重復精度:±0.2%FS

8、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11、混氣罐:Ø80mm×120mm

12、截止閥:Ø1/4″316不銹鋼針閥

13、工作溫度:5-45

產品規格

尺寸:600mm×600mm×650mm


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