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沈陽科晶自動化設備有限公司
混氣系統2路質子GSL-2Z
產品簡介:混氣系統2路質子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架內,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥,可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器。
產品型號 | 混氣系統2路質子GSL-2Z |
主要特點 | 精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。 |
技術參數 | 1、電源:185-245V 50Hz 2、輸出功率:18W 3、控制范圍:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM 4、壓力:3×106 Pa 5、準確度:±1%FS 6、線性:±0.5-1.5% 7、重復精度:±0.2%FS 8、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼 9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid) 11、混氣罐:Ø80mm×120mm 12、截止閥:Ø1/4″,316不銹鋼針閥 13、工作溫度:5-45℃ |
產品規格 | 尺寸:600mm×600mm×650mm |
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