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行業(yè)產(chǎn)品

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鉑悅儀器（上海）有限公司


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硅片表面形貌測(cè)量

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產(chǎn)品型號(hào)VIT系列

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更新時(shí)間：2022-11-15 15:13:33瀏覽次數(shù)：202次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述：硅片表面形貌測(cè)量VIT系列

詳細(xì)介紹

硅片表面形貌測(cè)量VIT系列

NEW: Virtual Interface Technology for 3D-IC Metrology:
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3DIC TSV and BWS TTV硅片表面形貌測(cè)量
Film Stress薄膜應(yīng)力量測(cè)儀
FEOL Electrical Characterization 電學(xué)特性
Thin wafer metrology 晶圓測(cè)量學(xué)
Film Adhesion漆膜附著力測(cè)試NEW: Virtual Interface Technology for 3D-IC Metrology:
-TSV profile (depth, top & bottom CD, tilt, SWA)
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