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高真空閥

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產品簡介

高真空閥

詳細介紹

鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G


?采用鋁制主體
 均一的烤焙溫度
 重量輕、外形緊湊
 放出氣體少
 重金屬污染少
?可更換波紋管
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封
方式
用途法蘭
尺寸
XLA-2氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封除塵
凈化
16~80
XLAV-2(帶電磁閥)氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封除塵
凈化
16~80
XLC-2氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化
16~80
XLF-2氣控單作用
(N.C.)
O形圈密封高速動作
高動作次數
16~80
XLFV-2(帶電磁閥)氣控單作用
(N.C.)
O形圈高速動作
高動作次數
16~80
XLG-2氣控雙作用O形圈高速動作
高動作次數
16~80
鋁制高真空L型閥XLA/C/F/G
系列 下載
XLA-2
XLAV-2(帶電磁閥)
XLC-2
XLF-2
XLFV-2(帶電磁閥)
XLG-2
鋁材質高真空L型閥 XLA/C-100?160(-1)-X152


?波紋管耐久性提升(法蘭尺寸100、160)
?壽命:200萬次
?可實現裝置的省空間化
 無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可)
 安裝姿勢的自由度提升
?輕量、緊湊
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封方式用途法蘭尺寸
XLA-100?160-X152氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封除塵凈化100、160
鋁材質高真空L型閥XLA/C-100?160(-1)-X152
系列 下載
XLA-100?160-X152
鋁制高真空L型閥 XL□


?耐氟。
?放出氣體量少。
?重金屬污染少。

※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進行了產品變更。
  請選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
下載
其他資料
系列操作方式閥形式軸密封
方式
用途法蘭
尺寸
XLA氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封防塵
凈化
16~160
XLAV(帶電磁閥)氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封除塵
凈化
16~160
XLC氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化
16~160
XLCV(帶電磁閥)氣控雙作用波紋管密封除塵
凈化
16~80
XLF氣控單作用
(N.C.)
O形圈密封高速動作
高動作次數
16~160
XLFV(帶電磁閥)氣控單作用
(N.C.)
O形圈高速動作
高動作次數
16~160
XLG氣控雙作用O形圈高速動作
高動作次數
16~160
XLGV(帶電磁閥)氣控雙作用O形圈高速動作
高動作次數
16~80
XLD氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封
O形圈密封
防止揚塵
防止泵過載
25~160
XLDV(帶電磁閥)氣控單作用
(N.C.)
波紋管密封
O形圈密封
防止揚塵
防止泵過載
25~160
XLH手動手動波紋管密封除塵
凈化
16~50
XLS電磁式單作用
(N.C.)
(波紋管平衡)無需空氣
可搬運裝置用
16,25
鋁制高真空L型閥XL□
系列 下載
XLA
XLAV(帶電磁閥)
XLC
XLCV(帶電磁閥)
XLF
XLFV(帶電磁閥)
XLG
XLGV(帶電磁閥)
XLD
XLDV(帶電磁閥)
XLH
XLS
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ


?快速拆裝(無需工具)。
下載
其他資料
系列操作方式軸密封
方式
閥形式材質法蘭
尺寸
XLAQ氣控波紋管密封單作用
(N.C.)
主體:鋁
波紋管:SUS316L
16~50
XLDQ氣控波紋管密封
O形圈密封
單作用
(N.C.)
主體:鋁
波紋管:SUS316L
40,50
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥XLAQ?XLDQ
系列 下載
XLAQ
XLDQ
不銹鋼制高真空L型/直線型閥 XM/XY


?無氣體積留的精密鑄造結構。
?鋁制高真空L型閥,安裝上具有與XL系列的互換性(XM系列)。

注)直線型無尺寸16。
下載
其他資料
系列操作方式軸密封
方式
閥形式材質法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控波紋管密封單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYC氣控·波紋管密封雙作用主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYD氣控波紋管密封
O形圈密封
單作用
(N.C.)
主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
25~80
XMH/XYH手動波紋管密封手動主體:SCS13(相當于SUS304)
波紋管:SUS316L
16~50 注)
不銹鋼制高真空L型/直線型閥XM/XY
系列 下載
XMA/XYA
XMC/XYC
XMD/XYD
XMH/XYH
常閉型高真空電磁閥 XSA


?使用壓力:1×10-6Pa(abs)
?泄漏量:內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內螺紋可選。
?消耗功率:最多削減25%。
?質量:最多減小18% 0.5kg→0.41kg。
下載
其他資料
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常閉空氣
惰性氣體
面密封接頭
卡套式接頭
1/4, 3/8
XSA常閉空氣
惰性氣體
Rc, NPT內螺紋1/8, 1/4, 3/8
常閉型高真空電磁閥XSA
系列 下載
XSA
XSA
平穩排氣閥 XVD


?閥與針閥一體化,配管空間為原來的1/4。
?密封部采用金屬膜片,大幅減少了微粒的產生。
?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。
下載
其他資料
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常閉
(加壓開?彈簧密封)
氮氣、空氣、
惰性氣體等
VCR®
Swagelok®
1/4B
平穩排氣閥XVD
系列 下載
XVD

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