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SMC(中國)有限公司
高真空閥
?采用鋁制主體 均一的烤焙溫度 重量輕、外形緊湊 放出氣體少 重金屬污染少 ?可更換波紋管 | |
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其他資料 |
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系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
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XLA-2 | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~80 |
XLAV-2(帶電磁閥) | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~80 |
XLC-2 | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~80 |
XLF-2 | 氣控 | 單作用 (N.C.) | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數 | 16~80 |
XLFV-2(帶電磁閥) | 氣控 | 單作用 (N.C.) | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16~80 |
XLG-2 | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16~80 |
系列 | 下載 |
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XLA-2 | |
XLAV-2(帶電磁閥) | |
XLC-2 | |
XLF-2 | |
XLFV-2(帶電磁閥) | |
XLG-2 | |
?波紋管耐久性提升(法蘭尺寸100、160) ?壽命:200萬次 ?可實現裝置的省空間化 無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可) 安裝姿勢的自由度提升 ?輕量、緊湊 | |
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其他資料 |
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系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封方式 | 用途 | 法蘭尺寸 |
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XLA-100?160-X152 | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 | 除塵凈化 | 100、160 |
系列 | 下載 |
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XLA-100?160-X152 | |
?耐氟。 ?放出氣體量少。 ?重金屬污染少。 ※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進行了產品變更。 請選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 | |
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其他資料 |
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系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
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XLA | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 | 防塵 凈化 | 16~160 |
XLAV(帶電磁閥) | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~160 |
XLC | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~160 |
XLCV(帶電磁閥) | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~80 |
XLF | 氣控 | 單作用 (N.C.) | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數 | 16~160 |
XLFV(帶電磁閥) | 氣控 | 單作用 (N.C.) | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16~160 |
XLG | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16~160 |
XLGV(帶電磁閥) | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16~80 |
XLD | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25~160 |
XLDV(帶電磁閥) | 氣控 | 單作用 (N.C.) | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25~160 |
XLH | 手動 | 手動 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16~50 |
XLS | 電磁式 | 單作用 (N.C.) | (波紋管平衡) | 無需空氣 可搬運裝置用 | 16,25 |
系列 | 下載 |
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XLA | |
XLAV(帶電磁閥) | |
XLC | |
XLCV(帶電磁閥) | |
XLF | |
XLFV(帶電磁閥) | |
XLG | |
XLGV(帶電磁閥) | |
XLD | |
XLDV(帶電磁閥) | |
XLH | |
XLS | |
?快速拆裝(無需工具)。 | |
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其他資料 |
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系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
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XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:鋁 波紋管:SUS316L | 16~50 |
XLDQ | 氣控 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:鋁 波紋管:SUS316L | 40,50 |
系列 | 下載 |
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XLAQ | |
XLDQ | |
?無氣體積留的精密鑄造結構。 ?鋁制高真空L型閥,安裝上具有與XL系列的互換性(XM系列)。 注)直線型無尺寸16。 | |
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其他資料 |
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系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
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XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:SCS13(相當于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | 氣控· | 波紋管密封 | 雙作用 | 主體:SCS13(相當于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | 氣控 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 主體:SCS13(相當于SUS304) 波紋管:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 主體:SCS13(相當于SUS304) 波紋管:SUS316L | 16~50 注) |
系列 | 下載 |
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XMA/XYA | |
XMC/XYC | |
XMD/XYD | |
XMH/XYH | |
?使用壓力:1×10-6Pa(abs) ?泄漏量:內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。 ?有2種接頭和內螺紋可選。 ?消耗功率:最多削減25%。 ?質量:最多減小18% 0.5kg→0.41kg。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
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XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
系列 | 下載 |
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XSA | |
XSA | |
?閥與針閥一體化,配管空間為原來的1/4。 ?密封部采用金屬膜片,大幅減少了微粒的產生。 ?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。 | |
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其他資料 |
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系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
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XVD | 常閉 (加壓開?彈簧密封) | 氮氣、空氣、 惰性氣體等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
系列 | 下載 |
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XVD | |
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