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中圖儀器光學輪廓儀全自動測量工件3D表面形貌SuperViewW1

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更新時間：2023-02-06 08:44:10瀏覽次數：664次

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產品簡介

中圖儀器光學輪廓儀全自動測量工件3D表面形貌，它是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器

詳細介紹

中圖儀器光學輪廓儀全自動測量工件3D表面形貌，它是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

中圖儀器光學輪廓儀全自動測量工件3D表面形貌，除用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。

主要應用領域：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。

中圖儀器光學輪廓儀全自動測量工件3D表面形貌，X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。

關鍵詞：光學輪廓儀輪廓儀電池