中圖儀器
激光干涉儀sj6000可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,以及進行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動態測量,是大量程、高精度、高靈敏度的精密測量儀器。
技術參數
產品型號:SJ6000
產品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩頻方式:雙頻激光熱穩頻
穩頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
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功能特點
1、功能廣
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環境補償。
2、精度高
激光干涉儀sj6000以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
3、標準多
內置13份標準,包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。
4、軟件強
(1)友好的人機界面;
(2)豐富的應用功能模塊;
(3)向導式的操作流程;
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業專屬模板定制。
結合不同的光學鏡組,
激光干涉儀sj6000可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
應用