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杭州庚雨儀器有限公司
Turbo-V2K-G不僅僅是一臺泵
Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設計的專用分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度的環境中。此外,它還擁有內置的控制器件、一體化的放空和充氮氣保護閥以及免維護的軸承。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業出色的解決方案。
特性:
1、為薄膜沉積應用而專門設計的分子泵解決方案
2、現有的高性能、緊湊的儀器
3、采用集成的方法很大程度提高系統效率和正常運行時間的渦輪分子泵
4、將渦輪分子泵、驅動器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
5、通用電子器件接口并配有操作簡單的控制軟件模擬 I/O 信號以及 RS232/RS485 接口等標準配置
6、安捷倫 Profibus 接口(可選)
7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus)
渦輪分子泵應用范例:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統。
典型渦輪泵應用:
領域 | 詳細說明 | 應用 |
質譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業真空加工 |
| 薄膜沉積:
設備加工:
一般工藝:
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納米技術儀器 |
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技術規格:
抽速: | N2:1600 L/s | ?? |
壓縮比: | N2:3 × 105 | |
極限真空*(使用推薦的前級泵) | < 1 × 10-8 mbar | |
入口法蘭 | ISO 250F | |
前級管道法蘭 | KF 40 NW | |
額定轉速 | 33000 rpm | |
啟動時間 | < 7 分鐘 | |
推薦的前級泵 | > 40 m3/h | |
工作位置 | 任意位置 | |
操作環境溫度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
電源 輸入電壓 輸入頻率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |
通訊接口 | 模擬 I/O RS232/RS485 Profibus | 標準 標準 可選 |
尺寸 | 高度 重量 直徑 | 335 mm(13.18 英寸) 335 mm(13.18 英寸) 35 kg(77 磅) |
* 根據德國工業標準 (DIN) 28 428。
Turbo-V 2K-G外形圖
Turbo-V2K-G抽速與入口壓力關系圖
Turbo-V2K-G壓縮比與前級壓力關系圖
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