Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s（視氣體而定）的抽速，并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)，可以在低壓強(qiáng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級(jí)壓強(qiáng)時(shí)實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)的壓差。該泵無(wú)油、無(wú)污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安裝而不對(duì)材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時(shí)間 (MTTF) 大于 250000 小時(shí)。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。

特性：

1.功耗更低、性能更佳

2.通過(guò)減少發(fā)熱而節(jié)能，并提高可靠性

3.為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片

4.通過(guò)降低工作溫度進(jìn)一步提高可靠性

5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸

6.功率要求低，前級(jí)耐壓高及可承受高氣載

7.可拆卸的前級(jí)連接器

8.可連接各種前級(jí)泵

9.冷卻方式靈活（風(fēng)冷或水冷）

10.采用安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus 軟件）

典型渦輪泵應(yīng)用：

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。

典型渦輪泵應(yīng)用

領(lǐng)域	詳細(xì)說(shuō)明	應(yīng)用
質(zhì)譜和分析儀器	針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器具有多入口泵組的定制泵低成本、易于使用、高分析性能對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng) 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備	質(zhì)譜 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空應(yīng)用	非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高壓縮可以以任意角度安裝聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體	高能物理融合技術(shù) 一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工	為薄膜沉積應(yīng)用而專門(mén)設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵	薄膜沉積：玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)（光電）光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤(pán)）磁性存儲(chǔ)介質(zhì) 表面處理光學(xué)涂層（眼科、精密光電）膜或箔上的輥式/卷繞涂覆設(shè)備加工：生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)） X 射線管和電子設(shè)備一般工藝：真空爐/冶金
納米技術(shù)儀器	分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì) 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng) 低振動(dòng)渦旋泵適用于敏感的顯微分析可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處	電子顯微鏡（SEM、TEM）聚焦離子束系統(tǒng) (FIB) 表面分析半導(dǎo)體制造

技術(shù)規(guī)格：

抽速：	ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250：	N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s	He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s	H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s
壓縮比：	ISO 160	N2：1 × 10⁹	He：1 × 10⁷	H2：1 × 10⁶
*極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）**	< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽氣口法蘭	ISO 160 ISO 200	ISO 200-F 螺栓	CFF 10 英寸	ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前級(jí)管道法蘭	KF 40
轉(zhuǎn)速	38,000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	小于 4 分鐘
推薦的前級(jí)泵	機(jī)械：Agilent DS 402 旋渦式干泵：Agilent TS300，IDP-15
工作位置	任意
冷卻要求	強(qiáng)制通風(fēng)或水冷
烘烤溫度	抽氣口法蘭溫度 120 °C（CF 法蘭）抽氣口法蘭溫度 80 ℃（ISO 法蘭）
振動(dòng)參數(shù)（位移）	在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm
重量 kg（磅）：	ISO 160 法蘭 ISO 200 法蘭 CF 10 英寸法蘭 ISO 250 法蘭 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭，CF 10 英寸法蘭	19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2)

* 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn) DIN 28 428。
可選 Navigator 泵機(jī)一體控制器、? 架裝控制器或者 PCB 控制器；
關(guān)于控制器的更多信息，請(qǐng)查看以下頁(yè)面。

Turbo-V 1001 Navigator 訂購(gòu)詳情

Turbo-V 1001 Navigator 外形圖

Turbo-V 1001 Navigator 抽速與進(jìn)氣口壓力關(guān)系

Turbo-V 1001 Navigator 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡渦輪泵顯示器電池

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