立式球面激光干涉儀

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更新時間：2022-09-04 10:39:03瀏覽次數：225次

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北京德華振峽科技有限公司

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產品簡介

立式球面激光干涉儀VT750 / VT1000 / VT1200是德國XONOX公司生產的4或6英寸球面激光干涉儀，采用立式測量結構，更適合于車間現場測量使用。

詳細介紹

XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點：

---高精密氣浮隔震系統，適合于光學加工車間現場檢測
---采用氣浮垂直移動導軌，移動快速準確，*大移動范圍1200mm，直線度可達3um
---可選裝經濟型的4寸干涉儀主機，配置靜態光圈測量分析軟件，代替傳統的樣本檢測，方便快捷，DIN或ISO測量結果顯示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機，ZYGO專業測量分析軟件，適合更優異用戶使用。
---配置線性光柵尺，曲率半徑測量精度+/-3um；小曲率半徑測量裝置可選，測量精度+/-1um（+/-60mm測量范圍）
---配置XONOX 4+測量物鏡，*大測量口徑為130mm，曲率半徑測量范圍可達1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用，無需額外配置

詳細技術參數：

工作范圍	750mm / 1000mm / 1200mm垂直移動范圍，測量口徑130mm或150mm
激光測量單元	XONOX Z100 4”菲索干涉儀或ZYGO VeriFire XPZ干涉儀主機，6倍光學變焦
測量系統	優良測量，數字顯示；小半徑特殊測量裝置（選項）
曲率半徑測量精度	+/-1um（根據所使用的測量系統）
外形尺寸	800X900X1900mm
重量	450Kg
電壓	110V-220V, 50-60Hz；16A
氣壓	6 bar