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行業(yè)產(chǎn)品
杭州華盼科技有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)EMPRO
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時(shí)間:2022-12-30 18:24:51瀏覽次數(shù):296次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線簡(jiǎn)要描述:EMPro是針對(duì)研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的型多入射角激光橢偏儀。
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EMPro31 |
激光波長(zhǎng) | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測(cè)量重復(fù)性(1) | 0.01nm (對(duì)于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測(cè)量重復(fù)性(1) | 1x10-4 (對(duì)于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測(cè)量時(shí)間 | 與測(cè)量設(shè)置相關(guān),典型0.6s |
結(jié)構(gòu) | PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有的準(zhǔn)確度) |
激光光束直徑 | 1mm |
入射角度 | 40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對(duì)準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) |
樣品臺(tái)尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
較大的膜層范圍 | 透明薄膜可達(dá)4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
較大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái) 真空吸附泵 |
軟件 | ETEM軟件: l 中英文界面可選; l 多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用; l 單角度測(cè)量/多角度測(cè)量操作和數(shù)據(jù)擬合; l 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出 l 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫(kù)支持 |
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