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4電弧提拉法單晶生長

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更新時間:2023-02-28 08:03:48瀏覽次數:267次

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產品簡介

產品詳情型號:SP-MSM-4CZ產品概述:SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃

詳細介紹

產品詳情

型號:SP-MSM-4CZ

產品概述:SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情
腔體

采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水

 

腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品

 

腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)

 

腔體尺寸:Φ257*360mm

1.1.png  1.2.png 


真空計

腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表

2.1.png


電弧槍

共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)

 

鎢電極直徑為Φ4mm

 

電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節

 

起弧電源: 18 V / 185 A    電壓380V

 

熔煉溫度可達3000℃

 3.1.png 3.2.png


樣品臺

采用水冷銅坩堝

 

可投如樣品量為60g(按鐵計算)


提拉機構

控制器控制提拉機構的提拉速度,轉速和轉速

 

提拉速度:0.2-10mm/h

 

提拉行程:0-70mm

 

轉速:0-40RPM


控制單元

可顯示和設置單晶生長的參數(起弧電流,提拉桿轉速,提拉行程和轉速)

真空泵

設備中配有一分子泵系統(機械泵+渦旋分子泵)

 

抽氣速率:100L/S

 

可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內)

 7.1.png


循環水冷機

功率:800W

 

水流速度:58L/min

 

制冷能力:5004W(17500Btu/hour)

 

溫度控制:5~30 °C


設備尺寸

800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

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