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產品詳情型號:SP-MSM-4CZ產品概述:SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃
型號:SP-MSM-4CZ
產品概述:SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
腔體 | l 采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水
l 腔體上安裝有石英窗口,以便觀察樣品
l 腔體真空度:10-5Torr(采用分子泵)
l 腔體尺寸:Φ257*360mm
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真空計 | 腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表
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電弧槍 | l 共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水)
l 鎢電極直徑為Φ4mm
l 電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節
l 起弧電源: 18 V / 185 A 電壓380V
l 熔煉溫度可達3000℃
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樣品臺 | l 采用水冷銅坩堝
l 可投如樣品量為60g(按鐵計算) |
提拉機構 | l 控制器控制提拉機構的提拉速度,轉速和轉速
l 提拉速度:0.2-10mm/h
l 提拉行程:0-70mm
l 轉速:0-40RPM |
控制單元 | 可顯示和設置單晶生長的參數(起弧電流,提拉桿轉速,提拉行程和轉速) |
真空泵 | l 設備中配有一分子泵系統(機械泵+渦旋分子泵)
l 抽氣速率:100L/S
l 可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內)
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循環水冷機 | l 功率:800W
l 水流速度:58L/min
l 制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
l 溫度控制:5~30 °C |
設備尺寸 | 800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
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