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長沙沛鈺進出品貿易有限公司

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1200°C二通道混氣高

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更新時間：2023-02-28 09:44:27瀏覽次數：133次

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產品簡介

產品詳情型號：OTF-1200X-4-III-9HV產品概述：OTF-1200X-4-III-9HV是由OTF-1200X-III三溫區管式爐，九路質子混氣系統和高真空機組組成

詳細介紹

產品詳情

型號：OTF-1200X-4-III-9HV

產品概述：OTF-1200X-4-III-9HV是由OTF-1200X-III三溫區管式爐，九路質子混氣系統和高真空機組組成。其工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內部。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統-OTF-1200X-4-III-9HV

產品提示

科晶實驗室邀請提示 圖片未及時更新提示 多種配件可選提示 危險設備操作提示

主要特點

? 高熔點物質能夠在低溫下合成

? 可生長單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質

? 不僅可以在基片上進行生長，還可以在粉體表面生長

? 雙層殼體結構，便帶有風冷系統，使得殼體表面溫度小于55度

? 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

? 三個溫區，可以獨立控溫

基本參數

一、加熱爐

? 溫度：1100℃（1200℃＜1h）

? 總溫區長度: 880mm（220 mm + 440 mm + 220 mm ）

? 升溫速率：≤10℃/min

? 三個精密溫度控制器分別控制三個溫區

? 恒溫精度：±1℃

? 熱偶：K型熱偶

? 電源：AC208-240 50/60Hz

? 功率：7KW

二、供氣系統

產品	二通道	三通道	四通道	五通道	九通道
工作溫度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
壓力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重復精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范圍	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五路：1~499 SCCM	3路:0~100SCCM 3路:1~199SCCM 3路:10~1000SCCM
注意	其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費用				五-九路可按照客戶要求定制

三、高真空機組

產品	國產分子泵	愛德華分子泵
抽氣速率	·N2 33 L/s ·He 39 L/s ·H2 32 L/s	·N2 42 L/s ·He 49 L/s ·H2 45 L/s
系統極限真空度	<1E-4 Pa (配和本公司管式爐使用可達到1E-2Pa)	<1E-6 Pa (配和本公司管式爐使用可達到1E-4Pa)
分子泵組成	RVP-4機械泵和F-100/110分子泵	隔膜泵和斡旋分子泵
使用電壓和功率	電壓：200~240V 輸出功率：150W	電壓：185-265V 輸出功率：100W
移動殼體尺寸:	600(L)x600(W)x750(H)mm	600(L)x600(W)x750(H)mm