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上海玖析科學儀器有限公司
恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater采用空間式加熱的控溫型勻膠機,可以進行邊加熱邊旋轉的控溫勻膠操作,對提高膠體流動性,加速溶劑揮發,勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。控溫精度高、重復性好,技術*,性能優良。標配4英寸真空吸盤,加熱速度快,控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉盤,可定制設計更換。
恒溫真空勻膠機/控溫型勻膠機/真空勻膠烤膠機Spin Coater
恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 產品簡介:
主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產中應用。
可以完成有機物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)。
完成勻膠時,還可以完成烤膠。
采用空間式加熱的控溫型勻膠機,可以進行邊加熱邊旋轉的控溫勻膠操作,對提高膠體流動性,加速溶劑揮發,勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
控溫精度高、重復性好,技術*,性能優良。
標配4英寸真空吸盤,加熱速度快,控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉盤,可定制設計更換。
恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 特性:
1、空間式恒溫加熱,室溫-200℃。精度0.1℃
2、可以完成有機物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)
完成勻膠時,還可以完成烤膠。
3、可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
4、每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;
5、可以控制加速度
6、平穩轉速,預設值與實際值誤差率1‰。有視頻為證(如想觀看視頻,請聯系我)
7、端跳1mm的±2.5%
主要特點:
高精度多程序控制器:
可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置25步不同的勻速度狀態;
加速度及負加速度可自主控制。
液晶顯示屏可以實時顯示:
1. 第N個涂敷工藝過程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態。
4. 設置時間;及實時運行時間。
5. 設置速度;及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
人機交互式對話,簡潔,明了。
儀器真空吸片系統更安全:
旋涂儀安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,
必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
頻伺服電機,轉速精度更高:
300 - 10000轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 %
轉速10000轉/分
不銹鋼機殼 聚四氟(塑料王)材質工作腔
不銹鋼機殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
溫度控制系統 :
工作腔內板式加熱體,加熱均勻。
控制溫度范圍:室溫--攝氏溫度200度。
聚四氟(塑料王)材質工作腔
技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
旋轉真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標準配置)
可選擇配置:基片直徑10—200mm可接受訂貨。
轉數:300 - 10000轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
控制溫度:室溫--攝氏溫度200度。
控制精度:1攝氏度
標準包裝:
結構尺寸:260mm寬x 350mm深x 260 mm高,
可選配件:
1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、70升/分無油真空泵
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