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愛德華edwards干式真空泵iH600 干式泵

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更新時間：2023-05-21 07:42:29瀏覽次數(shù)：226次

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產(chǎn)品簡介

iH高真空干泵愛德華edwards干式真空泵iH600干式泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細介紹

iH 高真空干泵  愛德華edwards干式真空泵iH600 干式泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和 封閉的水冷卻電機。

     

Standard_Body_Image_iH

應(yīng)用
功能與優(yōu)勢

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照Z高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

  • 負載鎖

  • 輸送

  • 計量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 預(yù)清潔

  • RTA

  • 剝離/灰化

  • 刻蝕

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。
a - iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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a - iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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a - iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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a - iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。

  • 無需預(yù)防性維護。

  • 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

  • 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

  • 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)



峰值速度600 m3h-1

353 cfm

10000 l min-1
極限真空7 x 10-4 mbar

5.3 x 10-4 Torr

0.07 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進氣口連接ISO100
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

4 l min-1
重量415 kg
極限功率輸入3.4 kW
電機額定功率6.1 kW
油容量1.43 l

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。


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