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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH80 干式泵

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更新時(shí)間：2023-05-22 08:08:42瀏覽次數(shù)：199次

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產(chǎn)品簡介

iH高真空干泵愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH80干式泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細(xì)介紹

iH 高真空干泵  愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH80 干式泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和 封閉的水冷卻電機(jī)。

     

Standard_Body_Image_iH

應(yīng)用
功能與優(yōu)勢(shì)
泵系列

概述

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照Z高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  

iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

EdwardsIH80_10.jpg

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖

  • 輸送

  • 計(jì)量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 預(yù)清潔

  • RTA

  • 剝離/灰化

  • 刻蝕

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請(qǐng)與 Edwards 聯(lián)系。
a - iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相

iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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a - iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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a - iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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a - iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相

iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和優(yōu)勢(shì)

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。

  • 無需預(yù)防性維護(hù)。

  • 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

  • 在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

  • 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度103 m3h-1

61 cfm

1717 l min-1
極限真空1 x 10-2 mbar

7.5 x 10-3 Torr

1 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進(jìn)氣口連接ISO63
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量120 l h-1

2 l min-1
重量240 kg
極限功率輸入2.7 kW
電機(jī)額定功率3.5 kW
油容量0.7 l

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。


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