污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
昆山熙日機械設備有限公司
參 考 價 | 面議 |
日本愛發科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的
低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的; ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻:HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的; ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合; 優良的氦氣抽氣能力:罐裝電機,安全,維修方便; 電源故障保護:泵能承受高達1000毫秒的電源中斷; 優異的耐腐蝕性能:內部部件經過特殊處理,表面硬度高,耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕; 通訊功能:可輸出水泵數據,包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的; CE標記可用:CE標記可根據要求提供。
ULVAC利用干泵內部產生的熱量的方法使LR/HR/UR系列即使在Z嚴格的過程中也能發揮作用。ULVAC的設計工作重點是在所有泵的各個階段保持的溫度,使這個系列泵Z適合CVD和蝕刻應用。
ULVAC的生態沖擊可以被添加到LR泵中,以獲得高達70%的能量節省,可用于任何輕工藝包括抽氣或氮氣。
【特征】
低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的。
ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻:HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的。
ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合。
優良的氦氣抽氣能力:罐裝電機,安全,維修方便。
電源故障保護:泵能承受高達1000毫秒的電源中斷。
優異的耐腐蝕性能:內部部件經過特殊處理,表面硬度高,耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕。
通訊功能:可輸出水泵數據,包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的。
CE標記可用:CE標記可根據要求提供。
【應用】
泵是專為CVD或干法蝕刻應用而設計的。
泵是為PVD、蒸發或熱處理工藝而設計的。
縮短LL室排氣時間(LR系列)
泵用于處理產生粉末的過程氣體,如Si晶體生長爐等。
渦輪分子泵和機械助推器泵
【規格】
愛發科真空泵維修,日本愛發科干式真空泵LR/HR/UR系列維修保養 昆山愛發科干式真空泵 上海愛發科真空泵維修 揚州愛發科真空泵維修保養 南通愛發科真空泵維修保養 鹽城愛發科真空泵維修 湖州愛發科真空泵維修 杭州愛發科真空泵維修 價格,日本愛發科干式真空泵LR/HR/UR系列維修保養 昆山愛發科干式真空泵 上海愛發科真空泵維修 揚州愛發科真空泵維修保養 南通愛發科真空泵維修保養 鹽城愛發科真空泵維修 湖州愛發科真空泵維修 杭州愛發科真空泵維修 批發
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環保在線 設計制作,未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
請輸入你感興趣的產品
請簡單描述您的需求
請選擇省份