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更新時間:2023-07-03 08:59:33瀏覽次數:227次

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日本愛發科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的

詳細介紹

日本愛發科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列

低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的; ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻:HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的; ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合; 優良的氦氣抽氣能力:罐裝電機,安全,維修方便; 電源故障保護:泵能承受高達1000毫秒的電源中斷; 優異的耐腐蝕性能:內部部件經過特殊處理,表面硬度高,耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕; 通訊功能:可輸出水泵數據,包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的; CE標記可用:CE標記可根據要求提供。

  ULVAC利用干泵內部產生的熱量的方法使LR/HR/UR系列即使在Z嚴格的過程中也能發揮作用。ULVAC的設計工作重點是在所有泵的各個階段保持的溫度,使這個系列泵Z適合CVD和蝕刻應用。


      ULVAC的生態沖擊可以被添加到LR泵中,以獲得高達70%的能量節省,可用于任何輕工藝包括抽氣或氮氣。


      【特征】


      低溫泵:LR系列泵是為負載鎖定或PVD工藝設計的。


      ULVAC的鋁設計允許在整個泵體上的溫度分布非常均勻:HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設計的。


      ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合。


      優良的氦氣抽氣能力:罐裝電機,安全,維修方便。


      電源故障保護:泵能承受高達1000毫秒的電源中斷。


      優異的耐腐蝕性能:內部部件經過特殊處理,表面硬度高,耐腐蝕性能好。這樣可以防止內部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時發生磨損和腐蝕。


      通訊功能:可輸出水泵數據,包括警告和警報。廣泛的泵控制是可用的。
      CE標記可用:CE標記可根據要求提供。


      【應用】


      泵是專為CVD或干法蝕刻應用而設計的。


      泵是為PVD、蒸發或熱處理工藝而設計的。


      縮短LL室排氣時間(LR系列)


      泵用于處理產生粉末的過程氣體,如Si晶體生長爐等。


      渦輪分子泵和機械助推器泵


      【規格】

 

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