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天津瑞利光電科技有限公司


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OPTO DIODE光電二極管SXUV100TF135

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產品型號SXUV100TF135

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更新時間:2024-04-27 10:01:53瀏覽次數:42次

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產品簡介

產品介紹每個檢測器具有100mm2的有源面積和用于在12nm和18nm之間進行檢測的直接沉積的薄膜濾波器

詳細介紹

產品介紹

每個檢測器具有100mm2的有源面積和用于在12nm和18nm之間進行檢測的直接沉積的薄膜濾波器。兩種探測器在13.5nm處都具有0.09A/W的典型響應度,并且針對不同的電性能進行了優化。光電二極管非常適合用于激光功率監測、半導體光刻和利用極紫外光的計量系統等應用。SXUV100TF135針對更高速的反向偏置電壓操作進行了優化。該器件具有低電容,通常為260pF,反向偏置電壓為12伏。

性能特點
  • 單個有效區域
  • 檢測到1 nm
  • 暴露于EUV/UV條件后的穩定響應
  • 保護蓋板
技術參數

產地:法國

擊穿電壓:25 V

配置:單個

模塊:否

包裝:陶瓷

包裝類型:陶瓷

光電探測器類型:PN

操作模式:光電導

波長范圍:18至80 nm

響應時間:20 ns

反向電壓:25 V

光譜帶:紫外線

電容:220至350 pF

暗電流:8至25 nA

響應性/感光度:0.08至0.1 A/W@13.5 nm

有效面積:100 mm2(10 mm x 10 mm)

工作溫度:-10至40℃

儲存溫度:-10至40℃

產品應用

激光功率監測

半導體光刻

計量系統

產品參數


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