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行業(yè)產(chǎn)品

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天津瑞利光電科技有限公司


GIGAPHOTONGT45A

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產(chǎn)品型號GT45A

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2024-05-02 09:22:05瀏覽次數(shù)：53次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴(kuò)展性的機(jī)型

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴(kuò)展性的機(jī)型。通過搭載新型模塊實(shí)現(xiàn)的“高運(yùn)轉(zhuǎn)率”、繼承當(dāng)前機(jī)型GT40A的“無氦氣”技術(shù)，可以在提高生產(chǎn)率的同時，減輕環(huán)境負(fù)荷。通過光譜寬度的穩(wěn)定性改善、可變光譜技術(shù)、高可達(dá)90W的高輸出功率，滿足客戶的多樣化需求。

性能特點(diǎn)

模塊壽命延長技術(shù)

降低維護(hù)頻率

提高生產(chǎn)率

減輕環(huán)境負(fù)荷

可選功能與配件

可以搭載GT65A可使用的功能和技術(shù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：日本

發(fā)射波長：193 nm

平均輸出功率：45 – 90 W

脈沖能量：11.25 – 15 mJ

發(fā)射頻率：4,000 – 6,000 Hz

光譜幅度（以 95 %能量累計，E95,）：≤0.5 pm

數(shù)據(jù)采集：監(jiān)控的方式

輸出方式：晶圓輸出

光譜帶寬：可變化

光譜寬度：穩(wěn)定

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體工業(yè)

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵詞：數(shù)據(jù)采集

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