【6英寸】 SYSC-150系列 高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater
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上海三研科技有限公司
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SYSC-100高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater，是*新一代旋轉涂膜設備。 精密高速伺服電機驅動，轉速達8000rpm，轉速精準。 *大旋轉加速度可達40000rpm/s（有負載的真實加速度）。 全自動程序控制。 耐腐蝕，304不銹鋼機身，腔體采用NPP材料，旋轉臺采用PEEK材料。 安全保護功能，真空吸片檢測，腔體關閉檢測。 主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光......
SYSC-100高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater
一. 產品應用
SYSC-100高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為旋轉涂膜儀，是*新一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高可靠性。
2. 優異的旋轉加速性能，*大旋轉加速度可達20000rpm/s（有負載的真實加速度）。
3. 兩項安全互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造**身傷害；
(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。
4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料，經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料，經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。可儲存50組工藝程序，隨時調用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
9. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。
10. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間"*多為99s，確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片
步 驟，“解吸片時間"*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋 放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
11. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。
三. 技術參數
| 產品型號 | SYSC-100 |
| 可鍍膜基片尺寸 | ?10～100mm |
| 旋轉速度 | 10～10000rpm |
| 轉速分辨率 | 1rpm |
| 速度精度 | ＜0.02% |
| 旋涂加速度* | 0～20000rpm/s |
| 每段加速時間 | 999.9s |
| 每段旋涂時間 | 9999.9s |
| 時間分辨率 | 0.1s |
| 預吸片時間 | 99s |
| 解吸片時間 | 99s |
**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.
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