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深圳市科時達電子科技有限公司
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美國PIE等離子清洗機基本型等離子等離子體表面處理擴展型等離子清洗機一、美國PIE等離子清洗機應用等離子清洗機清除樣品表面的污染物，去除光阻膠：產生表面活性功能組
美國PIE等離子清洗機 基本型等離子 等離子體表面處理 擴展型等離子清洗機
一、美國PIE等離子清洗機應用
等離子清洗機清除樣品表面的污染物，去除光阻膠：產生表面活性功能組；
清洗提高材料表面親水性及疏水性，清洗生物芯片、微流控芯片，PDMS；
表面活化：渲染表面的親水性或疏水性，鍵合和沉積前的表面預處理
表面聚合：沉積帶官能分子團的聚合物，移植聚合物到活化后的材料表面；
表面改性：在材料表面產生官能分子團，高分子材料表面修飾；
去除表面殘留微生物，科研的消毒和
二、美國PIE等離子清洗機的特點
1、高頻射頻發生器；
2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；
3、標配75W版本，可選150W版本；
4、系統具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三、美國PIE等離子清洗機技術參數
1、控制系統
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。
2、反應腔體
1）腔體材質：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：；
3）腔體尺寸：內徑：110毫米，深度：280毫米。
3、射頻電源
1）射頻頻率：；
2）射頻功率：標配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續可調，可選0~150W
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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