美l國Nano-master 兆聲晶圓清洗機WC-3000 單晶圓掩模版清洗設備
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上海和呈儀器制造有限公司
...........鋰電專用真空烘箱(帶鼓風及水冷系統)|方形鋁殼鋰離子電池烘箱產品名稱:全自動帶鼓風真空烘箱(含冷卻循環系統)型號:HSFBZK210L主要參數指標(該性能指標可在環境溫度為+5~+35℃測定):1.結構:1.1工作室尺寸:有效工作尺寸:高600mm寬560mm深640mm
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鋰電專用真空烘箱(帶鼓風及水冷系統)|方形鋁殼鋰離子電池烘箱
產品名稱:全自動帶鼓風真空烘箱(含冷卻循環系統)
型號:HSFBZK210L
主要參數指標(該性能指標可在環境溫度為+5~+35℃測定):
1.結構:
1.1 工作室尺寸:有效工作尺寸:高600mm寬560mm深640mm ;可定制尺寸
1.2 外形尺寸:見示意圖;
1.3 保溫層厚度:90mm;
1.4 支撐腳;100mm
1.5 加熱器位置:腔體四周;
1.6 抽氣口位置:側面,由電磁閥控制;
1.7 放氣口位置:配置充氣電磁閥;
1.8 開門方式:單開門;
1.9 控制箱位置:右側;
1.10硅橡膠耐高溫密封圈;
1.11 配置水冷循環系統;
1.12 配置鼓風循環系統;
2.主要性能:
2.1 工作溫度范圍:室溫+15℃~150℃;可定制高溫
2.2 儀表精度:±1℃;
2.3 溫度均勻度:±5℃(空箱,120℃,穩定2小時后);
2.4 升溫時間:≤120分鐘(空箱,25℃~120℃);降溫時間:≤240分鐘(空箱,150℃~85℃);
2.5 控溫方式:PID調節;
2.6 真空度:30分鐘內至10Pa
2.7 24小時平均漏氣量:≤100Pa/h;
2.8 箱外表面溫度:≤室溫+20℃;
3.電氣容量:
3.1 電源:AC380V 3相4線 50Hz
3.2 加熱功率:15KW;
3.3 鼓風功率:370W
3.4 電流:2
3.5 空氣開關容量:30A
4.保安裝置:
4.1 空氣開關(止過流和短路)
4.2 過流保護(止電流過高)
4.3 溫保護(止工作室溫度過高,保護產品),溫報警
5.其他可滿足的功能要求
5.1設備運行控制系統為PLC程序控制,可進行大于9個步次的程序設定。觸摸屏采用三菱品牌。
5.2溫度控制:溫度控制采用PID控制SSR開關。溫度傳感器采用K型雙保護殼熱電偶。當工作室溫度過設定值5℃時,停止加熱并報警。
5.3功能: 加熱均具有溫保護功能,真空報警,氮氣壓力報警,壓縮空氣壓力報警,冷卻水流量報警,風扇過載報警,急停按紐,漏電保護。
5.4設備總重量小于2500Kg.
5.5真空泵及管道由廠家提供。
5.6程序可以控制間隔設定的時間充入定量氮氣,設好程序后自動運行。
5.7真空度、溫度自由調整,可在某一固定溫度和某段真空度范圍條件下自動保持。
5.8設備控制系統為PLC程序控制,溫度均勻、真空度可靠。自動計時,當溫度升溫到設定值時設備開始計時,計時設定值時,設備停止加熱,處于真空保持狀態,流程具有密碼保護功能。PLC能夠自動采集存儲烘干過程中溫度、真空度數據并記錄保存。
5.9真空泵由數顯真空計自動控制。
5.10真空箱的箱門密封圈保證耐油耐熱不易脫落且換方便。
5.11箱體內上下左右全部要具有加熱管,4組加熱管使用單獨的熱電偶及PID控制單元進行控制。箱體有風扇,使箱體溫度均勻并在風扇循環分部位有熱電偶檢測控制常壓氣氛下的溫度。
5.12提供設備操作、維護、維修等說明書,常見故障分析說明。
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