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東莞鵬達真空科技有限公司
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BVF25~40干式真空泵
半導體，鋰電池行業真空解決方案：
你是不是需要一套真空系統
抽除腐蝕性氣體、
粉塵顆粒物、
有毒氣體等功能？
干式螺桿真空泵是您更好的選擇：
1、沒有污染油進入尾氣處理系統的風險
2、干燥，無污染
3、過程中不會發生腐蝕
4、效率更高，耗電更少
5、吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收
產品特點
·運轉功率低，噪音低，抽速快。
·可依制程/環境需求選用水冷，氣冷及防爆馬達。
·氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統，能使用在無冷卻水系統的環境。
·可依不同需求選配魯式泵浦，抽氣速率可達3500m3/h。
技術參數 | 單位 | RDE300 | |
額定流量 | m3/h | 250/300 | |
L/min | 4167/5000 | ||
cfm | ≤7.5x10-3 | ||
極限壓力 | Torr | ≤7.5x10-3 | |
mbar | ≤1x10-2 | ||
Pa | ≤1 | ||
馬達 | 頻率 | HZ | 50/60 |
電壓 | V | 220/380/440 | |
額定功率 | HP | 8/10 | |
KW | 6.7/7.5 | ||
鏈接 | 進氣口 | ISO63 | |
排氣口 | NW40 | ||
冷卻水 | 流量 | L/min | 18-28 |
溫度 | ℃ | 6SLM18℃-15SLM28℃ | |
壓力 | kg/cm3 | 2.0-4.0 | |
接頭 | RC3/8" | ||
氮氣 | 流量 | L/min | 依制程By process |
接頭 | Swagelok1/4" | ||
轉子轉速 | rpm | 3000 | |
噪音 | dB(A) | ＜68/＜70/＜75 | |
系統漏率 | mbar.l/s | ＜1x10-5 | |
室溫操作范圍 | ℃ | 5℃-40℃ | |
操作濕度 | RH | 90%以下 | |
抽速曲線圖
安裝尺寸圖
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