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北京中科科美科技股份有限公司
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更新時間：2023-12-18 12:04:02瀏覽次數(shù)：169次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線該設(shè)備為高真空多用途電阻蒸發(fā)鍍膜機，四對電極可單獨或同時蒸發(fā)不同的材料。設(shè)備為立式頂開蓋結(jié)構(gòu)，四對電極可單獨或共蒸發(fā)，樣品Φ300（max），樣品臺公自轉(zhuǎn)，公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速2-20rpm可調(diào)；流量計控制氣體流量，滿足離子轟擊壓力要求。
一、應(yīng)用領(lǐng)域
該設(shè)備為高真空多用途電阻蒸發(fā)鍍膜機，四對電極可單獨或同時蒸發(fā)不同的材料。設(shè)備為立式頂開蓋結(jié)構(gòu)，四對電極可單獨或共蒸發(fā)，樣品Φ300(max)，樣品臺公自轉(zhuǎn)，公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速2-20rpm可調(diào);流量計控制氣體流量，滿足離子轟擊壓力要求。
二、性能參數(shù)
1. 鍍膜室尺寸：Φ450×500mm鐘罩
2. 鍍膜有效尺寸：Φ300mm
3. 離子轟擊功率：0.6kW
4. 恢復(fù)真空抽氣時間(min)：<30
5. 蒸發(fā)源數(shù)目：4對，帶電動擋板;
6. 蒸發(fā)源功率：2kW (可選電流、電壓控制);
7. 偏壓、膜厚儀、薄膜規(guī)、樣品臺加熱可選;
8. 工藝氣體：MFC 1路;
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