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倍增級磁控鍍膜機

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更新時間:2023-12-23 12:30:57瀏覽次數:90次

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產品簡介

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

詳細介紹

  倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數字化編程、程序控制和動態監測,能夠實時顯示、記錄、統計、計算、保存、輸出各種運行數據,達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

  性能參數:

  1)、磁控靶沉積單金屬銻;

  2)、腔體內腔尺寸:Φ600x420;

  3)、具備偏壓清洗及輔助沉積功能;

  4)、極限真空;5.0x10-5Pa(從常溫、氮氣破真空狀態下抽限真空度時長≤4小時);

  5)、工作真空度:工作腔體真空度優于2.0×10-2Pa(腔體加熱至300℃狀態下抽至工作真空度時長≤0.5小時);

  6)、烘烤溫度max 300℃,常溫狀態升溫至300℃時長≤20分鐘,溫度測試精度≤±2℃。

  7)、工件架:運行平穩,轉速可調0.5-5rpm;

  8)、產能約700件/日;

關鍵詞:鍍膜機
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