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東莞市瑞高電子科技有限公司
產品概述:●高精度.安定性.機能性適合于FPD基板晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型
產品概述:
● 高精度.安定性.機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
● 各機型詳細參數請與區域銷售聯系。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數
試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
---|---|
重現性 | 1σ 0.5nm以內 |
測定范圍 | Z:100um X:100~305mm (Y移動量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫藥,PCB封裝等領域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面
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