全自動刻蝕機-AE12P

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更新時間：2022-11-28 16:03:16瀏覽次數：282次

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寧波潤華全芯微電子設備有限公司

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產品簡介

單片濕法刻蝕設備，能適應HF,HCL,H3PO4等多種刻蝕液，可刻蝕金屬有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等

詳細介紹

單片濕法刻蝕設備，能適應HF,HCL,H3PO4等多種刻蝕液，可刻蝕金屬有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等。本設備工作過程中由擺臂系統旋轉交替噴液，多層Cup結構可實現不同刻蝕液的分類排放與回收。專業的工藝腔體結構，在刻蝕電鍍或濺射形成的金屬膜的前提下，既能保證刻蝕的均勻性、刻蝕率，還可以保證各種化學品的使用安全性。本設備能滿足縱向刻蝕深度尺寸較大，橫向刻蝕深度精度高的工藝要求，在刻蝕工藝完成后，晶圓刻蝕溝槽和深孔等圖形側壁陡直規整，均勻性可達5%以內。晶片尺寸
2-12寸

主要技術參數
1、上下料方式：高效機械手自動傳送
2、離心機轉速
額定轉速： 2000 rpm
最小調整量： 1rpm
轉速精度： ±3rpm（50 rpm～2000 rpm）
3、夾持方式：真空吸附
或多點支撐、四角夾緊、機械安全限位的方式（可選）
4、藥液回收循環使用功能。
5、刻蝕液加熱：在線加熱器，MAX： 50℃±2℃
6、背噴功能：氮氣，1路
7、刻蝕液過濾器：0.2um
8、滅火系統：二氧化碳滅火系統

應用行業
廣泛應用于LED、分立器件、*封裝、科研等領域。

關鍵詞：離心機加熱器

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