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伯東企業（上海）有限公司深圳辦事處


CTI On-board 低溫泵

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更新時間：2023-03-11 16:51:05瀏覽次數：171次

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產品簡介

CTI-Cryogencis On-Board 低溫真空泵加速集成和改進的系統操作在可靠性和性能方面已達到世界標準. On-Board 低溫泵配有完整的集成控制和外圍附件支持, 提供了更長的運行時間, 以提高工具的整體生產效率, 從而增加了整體設備的產能和持續性能.CTI-Cryogencis On-Board 低溫泵主要特性:1. 快速 Regen 功能, 可在再生間隔期間延長低溫泵的性能2. ......

詳細介紹

CTI On-board 低溫泵 技術參數：

CTI On-board 低溫泵技術參數:

On-Board 低溫泵型號

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

抽速 (L/S)

水汽

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

空氣

370

1,500

1,500

3,000

2,200

6,000

10,000

氫

370

2,500

2,200

5,000

3,200

12,000

12,000

氬

310

1,200

1,200

2,500

1,800

5,000

8,400

容量（標準升）

氬

210

1,000

1,000

2,000

1,000

2,500

6,000

氫 (5x10-6 Torr)

3

17

12

24

24

16

42

45

常規再生時間（冷態至冷態）

級和第二級

75 分鐘

2.5 小時

2.5 小時

2.5 小時

2.5 小時

<3.3 小時

3 小時

<3.8 小時

第二級

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1 小時

<1.5 小時

<1.5 小時

關鍵詞：低溫泵

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