IKS-OPT2700電子束蒸發光學鍍膜機

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更新時間：2023-02-12 10:12:03瀏覽次數：696次

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沈陽愛科斯科技有限公司

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產品簡介

設備用途：大面積電子槍蒸發光電膜、光學膜和防指紋膜

詳細介紹

　　設備用途：大面積電子槍蒸發光電膜、光學膜和防指紋膜。

　　愛科斯的IKS-OPT2700蒸發鍍膜機為實現大量快速生產大面積光學膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設計，本機為立式單腔體鍍膜機，是一種基于電子槍蒸發的多層光學薄膜鍍膜系統。本設備的主要產品蒸發沉積多層光學介質膜和防指紋膜等，例如，可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點有機物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等，也可以為特定的簡單光學特性膜系進行調試生產。

　　設備特點

　　1. 產品設計，由愛科斯技術與產品性能的無縫對接整合，創造可靠、穩定、安全、智能化鍍膜系統!

　　2. 真空獲得，重新優化設計的真空獲得系統，滿足快捷平穩真空環境!

　　3. 蒸發源和離子源，合理的布局和高品質的加工技術，調試技術，實現工藝進程自動調節，電子束創新結構與精確速率保障材料沉積更精確、穩定!

　　4.自動運行控制系統，全新開發精確穩定系統!設置簡單，操作簡便!

　　設備簡述

　　IKS-OPT2700是專為大面積光學薄膜鍍膜而設計的電子束蒸發鍍膜機。鍍膜機系統由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統、電子束蒸發系統、離子源輔助沉積系統、電阻蒸發系統、膜厚監測系統、工作氣體體積流量控制系統、工件旋轉系統、PLC控制的自動鍍膜等組成。

　　蒸發材料常用稀有金屬，如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學材料中常用的材料。

　　可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點有機膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

　　設備參數

爐體尺寸	Ф2700×H1670	工件架	φ2650*H420mm
真空度	極限真空:6×10^-4Pa(24小時空載，不加熱)	重量	8000kg,地板承重﹥1000kg/m2
漏率	＜4×10^-3Pa×L/S(氦撿漏)	溫度	室溫-250℃，溫度均勻性±5%
工作真空	6*10-3Pa（自動工藝啟動）	供電	三相電, 380V，50Hz，60-100KW
低真空	10 分鐘＜10Pa	水冷	腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機流量大于1600l/h
高真空	6 分鐘＜8×10^-3Pa	溫水	蒸發源1800l/h，35-60℃
真空測量	全程監控，實時取點	占地	L6×w5.5×H3.5m
應用	眼鏡、反光鏡、手機背板、防護罩、光通訊、光學顯示等